Page 28 - Vol.09
P. 28
Tech
Notes
技術專文
圖四、H2、He 供應系統示意圖 [2]
Bulk Gas Yard Puri er Room FAB
FF
PF
FF FAB
Final Filter
Trailer PF
CQC
Pre-Filter
Bundle Puri er
圖五、大宗特殊氣體供應系統示意圖 [2]
Existing Cabinet Installation
Replaces Multiple Gas Cabinets
EFS VMBs
ESOV
Primary Supply Ton Container
Distribution VMB
EFS
ESOV
VMBs
Primary Supply Ton Container
Bulk Gas Manifold
VMBs
是因為這幾種氣體皆無必須露天擺 鋼瓶溫度過高而造成危險。同屬可 規劃氣體場第一項考量點─
放的儲槽，另一方面則是法令及保 燃性的 H 2 等氣體同樣應該避免鋼 必須選擇合乎法規要求的安全距離
險 公 司 要 求， 諸 如 HCL、NH 3 等 瓶溫度過高。H 2 、He 供應系統示 且須通風良好的環境
氣體供應場所必須設置環境排氣設 意圖如 圖四，大宗特殊氣體供應系 根據勞動檢查法第二十六條第一項
備及氣體洩漏偵測器，且當發生洩 統示意圖如 圖五。 第五款，SiH 4 供應區屬甲類危險性
漏時必須要有排氣處理設備，所以 工作場所，依法於啟用前須通過甲
上述幾種氣體適宜放置在有遮蔽的 類工作場所審查；相同條款規範，
環境。除此之外，根據行政院勞委 儲槽區的 LN 2 屬丙類危險性工作
會勞工安全衛生研究所研究建議， 場所，除依法必須設置圍籬區隔及
SiH 4 Y 型鋼瓶暫存區應設置於室外 氣體場設置 管制，且必須通過丙類工作場所的
且有加設屋頂，以避免陽光直射， 規劃要點 審查。而又根據 AIGA 052 要求，
使鋼瓶溫度超過 40℃ [3] ，以防止 SiH 4 供應區必須與最近建築物保
28
