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圖十、未來 450mm Fab 潔淨室設計概念圖

Class Cleanliness AMC level
1 ISO 2 ( 0.1) sub-ppb or less
AMC Air Washer
-
2 ISO 2 (0.1) sub-ppb
3 ISO 6 (1,000) ppb
4 ISO 7 (10,000) As resultant
Fan Filter Unit ULPA Filter

3 in 1
Chemical
Filter
Factory 3
4 Interface
Air/Load Lock 2
1 Load Port
Cooler
Fab Level
Fab Level

4
Sub-fab Level

Cooling 35/40 °C
tower
High Temperature
35/40 °C Di usion and Vacuum Pumps
27/33 °C (Europe)
up to 32/38 °C (Asia)
e.g. 17/22 °C PCW
Chiller
High Temperature Cooling (Reclrculation Air, Water Treatment)
Chiller Dehumidi cation (2nd Cooling Coll MUA)
Low Temperature Low Temperature

而實際上許多機台的廢熱大多高於 收技術的研發更是刻不容緩，像是 爭力外，更重要的是對地球環境與
冷卻液甚多；若能依據不同製程設備 氫氣 (H 2 ) 及廢硫酸 (H 2 SO 4 ) 與廢氨 資源的保護，這也是每一個企業所
的需求，將部份設備的冷卻方式由低 液 (NH 3 ) 的回收。18 吋代表著各種 應當負起的責任。
溫熱沉（由冰水機提供的冰水）改為 能源與資源的使用將大幅增加，回 我們未來在 18 吋晶圓生產製造所
高溫熱沉（如冷卻水塔），充份利用 收技術與應用將更顯重要。 面對的挑戰，也絕對是我們的機會。
自然大氣溫度設備排熱的概念，將
製程廢熱直接自冷卻水塔排入大氣，
將可大量減少製冷所需之耗能。

回收 (recycling) 代表可重複再使用，
它一直是節能的重要推手；回收效 結論
率愈好，所能省下的能源或資源就
越大。水電是晶圓廠最大的能源消 18 吋晶圓的放大直接反映了資源與
耗，很不幸的，他們已漸漸成為地球 能源消耗的增加，所使用的水、電、
有限的資源，我們必須努力去找到 氣體與化學原料皆會大量增加，生
更好的方法；儘管過去我們在水回 產製造所產生的廢水、廢氣與化學
收上已有不錯的成果，但未來 18 吋 廢液也會大量增加；如果能找到更
所面對的將是更大的需求；同樣在 有效的方法將這些消耗大幅減量，
氣體與化學原料的減量上，除了從生 無論是從製程設備或是廠務系統，
產製程與設備上去努力外，廠務對回 最終所帶來的效益除使我們更具競

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2013 89