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Tech
Notes
技術專文
文│張文龍 陳芳明│十五廠廠務二部│
無塵室天花板高低平台工法應用
晶圓廠的興建作業中，土建鋼構及無塵室的建造為主體項目，而無塵室的迴風格子樑設計導致土建作業的
難度增加，為了能夠縮短整體工期滿足安全的要求，承攬商將公共工程常見重型施工鷹架導入在十五廠三
期與四期廠房的無塵室新建工程，使用高低平台工法完成無塵室上部結構 ( 如 圖一 ) 的施工，其中高平台
進行二次鋼構、電力、監控、機械、排水、消防等項目施作，低平台進行天花板組立、燈具、FFU（Fan
Filter Unit）、灑水頭安裝，有別於傳統上大量採用高空自走車進行施工方式，縮短施工時間達５０％以上，
真是既安全又快速的新方法；本文將其過程與相關管理整理供同仁參考與學習。
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