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圖一、無塵室上部結構 圖二、十五廠一期無塵室

圖三、十二廠六期無塵室高低平台 圖四、假設加勁材張力分佈曲線

間 自 平 台 作 業 走 車 天花板骨料 間 隔 業 作 板 、 外 庫 內
上方作業
台 作 業 高 平 業 低 平 作 台
置 前 業 作

高架地板
作業

前言 文獻回顧 計畫方法

高科技晶圓廠的興建工程中土建之 十五廠一期與二期廠房興建依據產 高低台工法在十五廠三、四期廠房
後就屬無塵室為主體項目，依照著 能量產時程規劃，無塵室必須緊貼 無塵室新建工程依照施工環境特性
高程分佈設計由高點到低處逐一進 著土建來施工，依製程分區需求計 與整體時程要求，規劃各十七座高
行施作，項目依序大致為消防主幹 畫排定了四十天的垂直工序，這樣 低平台及物料動線、管制口等施工
管、天花板二次鋼構、消防支幹、 緊密的計畫其項目繁多，必須要有 措施，以下說明其相關規劃、措施
風管與線槽、天花板牙條、天花板 充分的管理能力、熱忱與經驗，也 及成效。
及燈具，天花板上部安全確認後人 因重疊施工的發生造成施工環境 高低台工法施工順序說明 ( 如 圖
員再進行電源配線與消防組立等細 的安全風險增加，承攬商為此研究 四 )。
部作業，而這面積達二萬平方公尺 了公共工程常見重型施工鷹架的使
的無塵室的施工大量使用高空自走 用，經過多次模擬作業後在十二廠 前置作業
車在四到八公尺的高度進行組裝作 六期廠房新建工程 ( 如 圖三 ) 開始 圖面切圖
業 ( 如 圖二 )，其高空自走車的管理 導入，有效的改善了作業環境的安 物料預製
與天花板開口墜落風險成為我們極 全。 人員分組與訓練 ( 如 圖五 )
為重要的管理要點。 環境準備作業

張文龍 W.L.Chang 陳芳明 F.M. Chen
畢業於中原大學電機所，二年多前參與 經歷十五廠三 / 四期專案，交到許
十五廠的建廠專案，在經過一期至四期 多同甘共苦的朋友，也學到許多好
建廠的考驗與洗禮，感謝多位長官對我 物，在此將高低平台工法分享給各
的照顧與包容，我會繼續加油與努力 位，希望大家一起成長。感恩 !

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBTER 2013 53