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Tech
Notes
技術專文
Quality
Examination and
Assurance of
Raised Floor
文│趙樹華│工程品質暨安全管理部│
高架地板品質檢測與驗證
無塵室為晶圓廠生產的必要環境，高架地板提供無塵室內設備機台及人員操作生產的完整空間，為構成無
塵室重要系統之一，因此高架地板品質檢測與驗證程序特別重要，以確認提供整體晶圓廠生產的標準環
境。高架地板驗證程序包含：高架地板面板強度試驗、磨耗及導電性試驗以及高架地板系統地震模擬試驗，
驗證試驗的設計與試驗後的合格標準將於本文詳細討論，所有新廠商或新型式的高架地板必須經由此品質
驗證程序進行試驗，以確認其品質與功能與既有無塵室使用中的高架地板具有同等級或以上之效能。
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