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圖一、高架地板系統 圖三、強度試驗機台
600 600
埋頭螺絲(Corner Lock) 面板(Raised Floor Panel)
頂板
傳壓塊 高架地板
衍樑
(Stringer)
螺絲
基座支柱
(Pedestal)
撓度計 鋼製角架
固定錨栓(Anchor Bolt) 斜撐
高架地板面板
強度試驗
圖二、高架地板面板型式
高架地板面板強度試驗主要是確認
各型式面板的強度符合要求，在施
加規定載重或應力下不產生變形
及破壞。高架地板面板的強度試
盲板 蜂槽板 隔柵板
(Blind Panel) (Perforated Panel) (Grating Panel) 驗包含兩項測試，分別為撓度試驗
(Deflation Test) 以及極限強度試驗
(Ultimate Load Test)。
撓度試驗又稱集中載重試驗
(Concentrated Load Test)， 為 面
前言 及隔柵板 (Grating Panel)；盲板及 板於指定位置經由 25.4×25.4mm
蜂槽板（開孔面積 17% 以上）使 之傳壓塊施加規定之集中載重後，
用於無塵室一般區域，而隔柵板則 量測面板之撓度變化，試驗設備如
高架地板為構成無塵室重要系統之 使用於無塵室的回風區。 圖三所示。撓度試驗代表面板於特
定載重下的變形量，撓度值越大表
一，提供晶圓廠生產的必要環境。 為確認提供晶圓廠生產的標準無塵
高架地板系統主要由高架地板面 示變形量越大，面板的集中載重強
室環境，高架地板必須通過品質檢 度越小。
板 (Raised Floor Panel)、 基 座 支
測與驗證程序以確認其品質與效
柱 (Pedestal) 及 衍 樑 (Stringer) 所 極限強度試驗為量測面板於指定位
能，高架地板的品質驗證程序包含
組成，如 圖一 所示，並分別由固 置之最大破壞強度，試驗設備同撓
三項試驗：高架地板面板強度試驗、
定 錨 栓 (Anchor Bolt)、 埋 頭 螺 絲 度試驗如 圖三所示。當撓度試驗完
(Corner Lock) 及斜撐完成固定與支 磨耗及導電性試驗、高架地板系統 成後，即進行極限強度試驗，量測
撐功能。無塵室高架地板有三種類 地震模擬試驗。新廠商或新型式的 面板可承受的最大破壞強度，試驗
型，如 圖二所示，分別是盲板 (Blind 高架地板需通過上述三大項品質認 數值越大，代表面板的破壞強度越
Panel)、蜂槽板 (Perforated Panel) 證試驗後方可使用。 大。
誠信正直與終身學
樹 華 習，熱愛自助旅行與
田徑運動。
趙 Chris Chao
NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2014 77
