Page 84 - Vol.15

Tech
Notes
技術專文
Airborne Molecular

Contamination

Monitoring Technology

for New Fab Cleanroom

Construction

文│黃裕欣 李建國 蘇鈺洲│十四廠七期新建工程專案│

新建廠潔淨室氣態分子汙染

監控技術之應用實務

本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要
污染物氨 (NH 3 ) 和總有機碳 (TOC)，如何應用監控儀器配
合各種空氣分子汙染 (Airborne molecular contamination,
AMC) 之去除設備，有效地管制及降低施工汙染。文中將
分享新建工廠的歷程，依序以下列五項主題加以說明，
分別為：AMC 種類與監控儀器介紹、監控儀器及 AMC
去除設備應用於潔淨室空氣循環流程、AMC 監控品質管
理、生產環境規格符合既有廠的基準規範值 (One sigma
match) 以及總結與建議。

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