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技術專文

圖六、（左）中型過濾鼓風機置於物料過濾區；（右）小型過濾鼓風機應用於潔淨室

表二、建廠進度與 AMC 品管時程

時程 監控時期 強化過濾時期 運轉時期

目標 In Control Limit In Baseline One Sigma Matching
建造 內裝工程 內裝工程 安裝機台設備
工項 環氧樹脂防塵塗料/油漆 次系統調配與一次配裝機工程 運轉測試
氣密/防火填塞 安裝自動物料傳輸系統(AMHS)
最後修護

里程碑 增強外氣空調箱及一般排氣管的運轉頻率 外氣空調箱及風機過濾機組 強化稽核人員專業能力
建立AMC管哨 安裝化學濾網 稽核AMC管哨物料管制
潔淨室整理整頓 使用過濾鼓風機 每日機動巡查潔淨室
強力整理整頓 物料過濾區及化學濾網管理
AMC儀器 啟動即時分析儀器 啟動即時分析儀器(IMS, GC-FID) 持續觀察監控儀器是否符合one sigma
應用規劃 (游離偵測器、TS/NH 3 Analyzer) 啟動人工採樣分析(Impingers) matching

合一濾網使用，過濾物質為氨、總 總體建廠進度，規劃三個時程階
圖七、空氣洗滌機構造
硫化物、總有機碳。可協助工程人 段，說明施工過程 AMC 污染，同
員針對局部汙染加強過濾，機動性 時搭配監控儀器以及採取適當的管
高且效果顯著，亦放置於物料過濾 理辦法，如 表二 。
區 (Purge area) 來清除含汙染分子
透過一系列的 AMC 品管手法，由
的管制物料。
監控儀器量測之氨與總有機碳濃度
趨勢，成功地在生產機台搬入前直
接 達 到 one sigma matching 的 標
空氣洗滌機
準，如 圖八所示，同時驗證 AMC
(Air washer)
品管方法的有效性。未來，潔淨室
位於外氣空調箱內，構造如 圖七 ，
在外氣空調箱穩定的供給下，除
透過去離子水 (Deionized water)，
了持續降低外部汙染，內部必須作
配合適當的導電度值能夠大量吸收
更嚴謹的稽核管制，例如濾網更換
氨和二氧化硫，達到降低水溶性
週期、管控汙染發生源、精進的處
AMC 效果。
理手法等，如何在成廠後維持高規
綜合上述品管方法，本文根據實際 格的生產環境以及 one sigma 的標

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