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圖八、建廠過程中氨與總有機碳濃度在 AMC 品管下之變化
外氣空調箱提供正壓
啟動潔淨室空調
啟動風機過濾機組
NH 3 (ppb) TOC (µg/m³)
350 啟動空氣洗滌機 4000
增強外氣空調箱運轉頻率
啟動一般廢氣管和火災排煙管
TOC 3500
300
設置AMC管哨與稽核人員 NH 3
啟動即時儀器分析
3000
250
啟動人工採樣分析
風機過濾機組安裝 2500
簡易型與二手化學濾網
200
外氣空調箱安裝 2000
總有機碳濾網
150
進機
Tool move in 1500
100
1000
50
500
0 0
Day-90 Day-85 Day-65 Day-62 Day-60 Day-55 Day-50 Day-45 Day-40 Day-35 Day-30 Day-25 Day-20 Day-15 Day-10 Day-5 Day-2 Day Day+5 Day+10 Day+15
準，是我們必須長期克服的一大挑 化學品或氣體的可疑機台，最後由
參考文獻
戰。 診斷軟體進行定性與定量分析，以
[1] 聯宙科技，IC 量測儀器內部訓
提供更具效力的監控，這將是未來
練教材
的重點研究目標。
結論與建議 新建廠房
未來新建工程除了依循歷年建廠所
監控儀器 累積的實務經驗外，仍需持續朝向
現階段 Air Sentry II-IMS 和 GC-FID 以低成本（例如減少化學濾網使用
皆屬於固定式之監控儀器，採樣方 量）及快速降低建廠期間的 AMC 污
式為同一時間內僅採樣一個區域， 染濃度為目標。尤其是工期壓縮時，
其他區域皆為空窗期，如過程發生 如何妥善安排工序以分區提早結束高
污染作業、逐漸降低污染濃度，以及
異 常 汙 染， 再 以 Impinger 採 樣 分
如何有效地管理 AMC，仍是建廠團
析，早已擴散至整個潔淨室，往往
隊的一大挑戰。
緩不濟急。接下來的工作尚需建立
移動式的 AMC 即時偵測分析儀，
主動偵測汙染源，同時建立資料庫
程式比對，篩選出生產或使用何種
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