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圖三、AMC 監控品管應用 PDCA 示意圖

Plan

依照總體工進，設定達成目標，並預計影響
AMC的施工內容，擬定管理對策
Action Do

將成果標準化並持續監控，未解決問題以 使用監控儀器配合過濾裝置採取適當手法，
新的獨立PDCA進行改善 避免污染源發生

Check

確認AMC數值是否降低並符合規範，同時釐
清成效並瞭解發生源背景

圖四、稽核管理制度圖 圖五、訓練管理制度圖

SOP
Check
缺失上課 稽核缺失
(次／月) (件／天)
AMC
Control
Work
Training items
Certify & Management Check
Record
Governing Body

6S/AMC Site
作業觀察 複檢稽核 Check
(次／週) (次／天) Check &
Control

人員與廠務工程師的密切合作， 入潔淨室時釋出汙染分子，稽核人 Exhaust) 與火災排煙管 (Calamity)，
必須在確定生產機台搬入前三個 員在潔淨室入口處設立 AMC 管制 甚至將潔淨室對外逃生門開啟，以
月，開始在其他成廠區培訓稽核人 站進行檢測，當檢測結果不符合規 增加潔淨室換氣次數達到稀釋的效
員，以便及時加入建廠階段控管 範時，必須移至物料過濾區 (Purge 果。後期欲快速降低 AMC 有三大
AMC。稽核人員使用光游離偵測器 area) 進行過濾以降低濃度。 重點手法：定期更換風機過濾機組
隨時監控任何 AMC 事件，問題一 上方的化學濾網、適當運用外氣空
建廠初期，潔淨室的汙染源大都來
出現立即作初步處理，例如使用過 調箱內的空氣洗滌機以及適當時機
自為了解決地面平整與接縫的環氧
濾鼓風機，同時回報至工程人員， 安裝外氣空調箱內的化學濾網。上
以便後續處理避免汙染擴大，造成 樹脂防塵塗裝 (Epoxy)、風管與水 述提及的過濾鼓風機與空氣洗滌機
過濾系統壽命降低，故稽核人員的 管組裝時的接合溶劑、一次配裝機 之作用說明如下。
靈敏度是非常重要的一環，廠務工 工程 (Hook up) 的影響、自動化物
程師必須定期透過稽核管理制度以 料運籌系統 (AMHS) 裝設工程、防
及訓練管理制度強化稽核人員的敏 火填塞、油漆等，除了運用過濾鼓 過濾鼓風機
(Purge fan or Fan cart)
感度及稽核能力，如 圖四、圖五 。另 風機，我們加強外氣空調箱的運轉
外，為了防止任何物料及工具在進 頻率以及啟動一般排氣管 (General 如 圖六為短效性裝置，必須搭配三

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2014 85