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             Notes
             技術專文




             表一、偵測潔淨室汙染濃度之各種監控儀器

                 儀器名稱        分析項目      偵測型態    分析方法與原理                                 儀器外觀


                 空氣採樣幫浦      MA, MB, MC  人工採樣  利用衝擊的原理，使汙染分子被高速的空氣帶動衝擊在採樣瓶
                 Impingers             分析法     底面，而被留存於去離子水內。將此溶液送至化學分析實驗室
                                               作烘乾稱量，可求得空氣中AMC含量



                 TS／NH 3  Analyzer  總硫化物(TS)  即時儀器  紫外線螢光法(UV Fluorescence)：氣體經高溫石英管，吸收UV光
                             氨(NH 3 )  分析系統    的能量而釋放出螢光，分析得總硫化物；藉由轉換器產出總氧
                                               化物(TNX)以及總氮(TN)，兩者差值即為氨的濃度


                 Air Sentry II－IMS  鹽酸(HCI)  即時儀器  離子移動率光譜/離子電泳原理(Ion Mobility Spectroscopy, IMS)，氣
                             氨(NH 3 )  分析系統    體被激發帶電狀態，並依不同質荷比與飛行時間到達電子捕集
                                               器，依所產生之電壓與時間軸圖判定汙染種類與濃度


                 GC－FID      總有機碳      即時儀器    氣相層析-火焰離子偵測器(Gas Chromat-ography Flame Ionization
                             (Total Organic  分析系統  Detector, GC-FID)，氣體流入偵測器經熱脫附至氣相層分析，依
                             Carbon)           分子重量及不同溫度分離含碳之成份，轉化成圖譜並呈現濃度





                 Portable－PID  揮發性有機   即時儀器    游離偵測器(Photo Ionization Detector, PID)，氣體經光游離偵測器
                             化合物(VOC)  分析系統    以9~12 eV的紫外光來產生游離電子，接著收集正電離子同時產
                                               生電流訊號的改變，進而得到濃度數值










            與去除設備的應用位置，詳細說明                    機碳 (TOC) 濃度。                  AMC 監控品質
            如下。                              – 游 離 偵 測 器 (Portable-PID) 能 協
            – 外氣空調箱的風車 (Fan) 將外氣               助稽核人員即時找出揮發性有機                管理
              (Outside Air) 帶入，經由化學濾           化合物的發生源，並配合過濾鼓
              網及空氣洗滌機 (Air Washer) 進           風機進行過濾，最後室內氣流經                我們引用美國品質管制專家戴明
              行初步 AMC 的過濾。                     二樓到左右側混風區 (Return Air         (W. Edwards Deming) 提 出 來 的
            – 應用 TAPI TS/NH 3  Analyzer 在進     Shaft) 與外氣混合再次進行新的            PDCA 循環概念來建立 AMC 監控
              入端量測外氣的氨和總硫化物之                   循環。其中化學濾網的過濾物質                的管理計畫，如 圖三 。依工程需求，
              原始汙染值並與出口端過濾後的                   以 氨 (NH 3 )、硫化氫 (H 2 S)、 二    一、計畫 (Plan) 方針與目標，瞭解
              量測濃度作比較，進而瞭解化學                   甲基硫 (DMS)、揮發性有機物              內容，二、執行 (Do) 計畫中的內
              濾網的壽命並調整濾網更換週期                   (VOC)、 二 氧 化 硫 (SO 2 ) 以及二    容，三、檢察 (Check) 執行成果，
              以及空氣洗滌機的水洗效率。                    甲苯 (Xylene) 為主。               找出問題點，四、行動 (Action)，
                                                                             改善問題點，將成功方法標準化
            – 內部循環透過裝有化學濾網之風                 透過上述完整的監控流程，能有效
                                                                             避免重蹈覆轍，最後若有新問題
              機過濾機組將氣流引進潔淨室三                 地從外而內控管 AMC，大幅降低
                                                                             再以新的 PDCA 處理。同時，應
              樓，在室內有三種儀器作量測：                 異常的汙染風險，另外因潔淨室的
                                                                             用義大利經濟學者帕列托 (Vilfredo
              一、空氣採樣幫浦 (Impingers) 收         製程種類眾多且分布不同面積，必
                                                                             Pareto) 提出的 80/20 法則，可讓
              集環境 MA、MB 及 MC 濃度；二、           須有充足的採樣點位數量，以便監
                                                                             品管過程，花費最少的力氣，創造
              離子移動率光譜 (IMS) 量測氨和             控及確保環境品質。
                                                                             最大的價值。
              鹽酸濃度；三、氣相層析－火焰
              離 子 偵 測 器 (GC-FID) 瞭 解 總 有                                     品質管理上另有一重要環節為稽核



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