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Tech
Notes
技術專文
Innovation in
Slurry
In-line
H O
2
2
Detection
研磨液之雙氧水
即時量測技術進化
南科十四廠七期 HPM slurry room 攝影 / 洪湘寧
本文主要分析雙氧水滴定儀使用上之問題，針對六向閥和螺桿組進行新概念設計、硬體改造，以及軟體
計算進行驗證和優化，包含將滴定儀用作定量的六向閥移除，改由閥件之滯吸力進行定量，並將定量管
拉出毛細管，強化管內的附著力，避免閥件開關的瞬間壓力造成回抽，解決因為六向閥存在的所有宿疾
問題； 原廠 O 型環容易因為螺桿推進而擠壓變形，遂利用 O 型環的體積，於其外定模硬度高、摩擦係
數低之「高分子盔甲」，螺桿的取液口則修改成外徑突出而內徑不變的圓柱頭，並在前端做出微縮防止
脫落；軟體則優化滴定過程、修正計算功能，設定假想預滴定量，將研磨液定量減量後，因而被放大的
修正係數恢復正常，成功解決假性誤差的滴定穩定度變差問題。
關鍵詞/ 六向閥、O型環、預滴定量、雙氧水滴定儀
Keywords/ 6-Way Valve 、O-Ring、Offset、ATRs
文│趙培辰│南科廠務五部│
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