Page 39 - Vol.23

南科十四廠七期 HPM slurry room 攝影 / 洪湘寧

前言 膠（Viton）材質 O 型環（O-ring） 其中，ATRs 部件內，尤以六向閥
的螺桿（piston） 圖3 ，將固定之 以及 Viton O-ring 最常出現問題，
目前已經是各研磨系統課有使用此
微量硫酸鈰（Ce（SO 4 ） 2 ）滴定入
即時性的雙氧水（H 2 O 2 ）滴定儀 機型的頭痛宿疾，發生過的歷史事
反應槽 圖4 ，和研磨液中的雙氧水
（ATRs）於原廠設計，是利用六 件諸如：六向閥的塑膠墊片因為
進行反應，並利用總共推進的硫酸
向 閥（6-way valve） 圖1 將含有 經常性轉向作動而產生磨耗，造成
雙氧水的研磨液（slurry）定量後， 鈰體積量，回推計算出雙氧水的重 定量失準以及漏液、六向閥汽缸推
利用步徑馬達 圖2 推動裝有半氟橡 量百分比。 進異常，沒有完整轉向造成取樣異

台積是小弟第一份工作，進入台積工作兩
培 辰
年餘，能在這樣的先進大廠汲取經驗、成
長，實屬難得有幸；希望能繼續在專業領
域深耕，然後拓展所能、發揮所長。
趙 P. C. Chao

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 39