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表 3、新舊型耗材更換成本分析 表 4、實際運轉電流量測比較

New type UV Old type UV 十四廠七期(新型UV) 十四廠六期(舊型UV)

UV chamber Q'ty 20 57 動力盤 三相 / 480伏特 三相 / 480伏特

單相平均電流(A) 7.9 10.4
UV Lamp Q'ty 800 2280
電壓(V) 480 480
UV Lamp unit price(NT) $14,700 $5,600
功率因素 1.0 0.8
total cost(NT) $11,760,000 $12,768,000 功率(kW) 6.6 6.9

結論
圖 7、十四廠五／六／七期紫外線裝置運轉電費比較

1
0.9 本文針對十四廠七期所使用的新
0.8 十四廠五期(舊型UV ) 型 UV 進行研究，分析新舊型 UV
十四廠六期(舊型UV )
運轉電費(NT/ton) 0.6 TOC 去除效率並探討使用效益，以
0.7
十四廠七期(新型UV )
0.5
期作為後續使用廠區參考。
0.4
0.3
0.2 在 TOC 去除效率部分，新型 UV 使
用一年後與新品的去除效率無明顯
0.1
0 差異，舊型 UV 使用一年後與新品
Make-up Loop1 Loop2 Loop3 Loop4 Loop5 效能差異大，平均約減少 30% 的
去除效率。在相同 TOC 去除效率
的基準下，新型 UV 效能約為舊型
圖 8、降低水質變異操作手法示意 UV 的 3.5 倍。在使用效益部分，
新型 UV 所需 chamber 數量大幅減
運轉：67% + 67% 4/3 更換：100% 3/3 少，除了節省佔地空間，每年更能
節省電力 210 萬度，每年可節省電
費約 540 萬元。最後，新型 UV 單
價雖高於舊型 UV，但因數量大幅
減少，因此每年耗材更換成本仍可
節省約 100 萬元。
更換：100% 3/3 運轉：67% + 67% 4/3

運轉操作手法探討 作手法來降低。在日常運轉階段 參考文獻
需控管 UV 燈管開啟數量，以兩套
新型 UV 因效能提升，安裝數量較 [1] 陳仁仲，「半導體產業用水處理技術發
UV 為例，當兩套 UV 皆關閉 33% 展」，工研院季報簡報資料，工研院能
舊型 UV 大幅減少，本節將探討 資所 (1997)
的燈管時，系統處理能力由 200%
UV 更換期間對供應水質的影響， [2] 莊順興、柯貴城、歐陽嶠暉，「超純水
下 降 134%， 但 因 系 統 為 N+1 設 製造技術」，工業污染防治，第 107 期，
以及如何藉由運轉操作手法來降低 第 145–163 頁 (2008)
計，因此仍在系統可處理範圍內。
此影響。 [3] 蕭嘉榮，「半導體廠廠務超純水系統設
而在更換耗材時，則將另一套 UV 計流程管理研究」，國立成功大學工
十四廠七期於系統試俥階段時曾進 燈管全部開啟，此時系統處理能力 學院工程管理碩士在職專班碩士論文
(2011)
行切離單套 UV 的實驗，就當時結 為 100%，藉由此操作方式可將水 [4] 環保署全國水質偵測資訊網 http://
wq.epa.gov.tw/code/Station.aspx
果顯示，POU TOC 濃度約上升 0.05 質變異幅度降低，其概念如 圖8 所
[5] 奧璐佳瑙科技股份有限公司，「Photo-
ppb，而此水質變異可藉由運轉操 示。 science Japan TPH-20 技術資料」 (2013)

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 81