Page 82 - Vol.23

Tech
Notes
技術專文

Effluent

Reclamation–

Design and

Operation of

Advanced

Oxidation

Process Pilot

工業再生水研發─

高級氧化法模廠的

設計與運轉

/
南科十四廠五期再生水系統 攝影
南科十四廠五期再生水系統 攝影 / 洪湘寧
洪湘寧
再生水模廠 (AOP Pilot) 設備於 2015 年 8 月進廠安裝，11 月施工完成後
導入晶圓工廠排放廢水進行試車，2016 年 6 月模廠進行 168 小時連續運
轉測試。測試時原水 TOC 大於設計預估值 80 ppm，達 120-160 ppm。再生水的產水水質仍可符合目標：
TOC <50ppb，尿素 <5ppb，導電度 <50uS/cm，產水率為 41%-49%。濃水處理後水質優於目標，可達
NH 4 -N <60 ppm、NO 3 -N <30 ppm、TMAH <60 ppm、COD <100 ppm、TOC <60ppm，成功達到納管
標準。未來晶圓工廠排放廢水放流水 TOC，會隨製程演進進一步上升，對於系統處理是負擔，因濃水
處理系統可有效降低 COD 及 TOC，未來可將其加入目前再生水處理流程前段，增強對高 TOC 160-200
ppm 放流水的處理能力，確保再生水的水質，以供給工廠使用。

關鍵詞/ 高級氧化法、生物薄膜法
Keywords/ Advanced Oxidation Processes、Membrane Bioreactor System
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文│萬棟勳 蕭千城 │ 新廠設計部 南科廠務四部│
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