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Notes
技術專文
圖 1、台灣的氣候變遷趨勢圖
雨量 2005年
3700 1998年 3,568mm
1953年 1972年 1990年 3,322mm
3400 3,240mm
3,180mm 19年 18年 3,144mm 8年 7年
3100
2800
2500
2200
2011年
2,331mm
1900
17年 13年 9年
1600 1963年
豐水年 1,830mm
1980年 1993年
1300 枯水年 1,605mm 1,645mm 2002年
1,572mm
1949 1953 1957 1961 1965 1969 1973 1977 1981 1985 1989 1993 1997 2001 2005 2009 2011(西元)
圖 2、晶圓廠水系統圖
DIR DIR system UPW Tool Reclaim system
AWR Wastewater system
AWR system
AWD Water Supply Tank
CMP CMP Local Scrubber User
BG system CCR Reclaim Drain
CuCMP CuCMP system Wastewater
system Organic Drain
ECP
AWD(O 3) LSS Tank
LSD
HFD Cooling
LSR system Tower
AORI RCW tank &
Central
AOR Scrubber AWN
TMAH(CuCMP) system
CWD CWR system
NH 4F NH 4F system NH 4F system
TMAH TMAH-R system Lorry out HF system
HFC
動，使單位晶圓產出的耗水量減少 流水量衝擊環境，更能達到水資源 此，再生水的技術難度與造水成本
30%。此外也在台灣半導體產業協 永續循環。 也越高。再生水的水質若供作超純
會設置「環安衛生委員會」合作平 水系統原水，所需水質比次級用水
工廠排放廢水回收再生技術的難易
台，將指標納入產業自律協定。 高出許多。
度與造水成本高低，取決於原水複
再生水是未來的趨勢，再生水系統 雜度（取決物質濃度）及再生水水 當製程回收率大於 85% 時，此回
改善天然缺水的地理因素，避免開 質要求高低（取決用水端）。一般 收系統的濃縮水，經廢水處理系統
拓新的水庫破壞生態系，從既有的 而言，工廠廢水製程回收率越高， 處理後，可符合園區廢水納管標準
排放廢水去精煉出再生水，減少放 其排放水的成分複雜度就越高。因 排放；若要進行再生、純化處理至
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