Page 83 - Vol.23
P. 83
/
洪湘寧
南科十四廠五期再生水系統 攝影 / 洪湘寧
南科十四廠五期再生水系統 攝影
前言 1。2015 年台灣發生罕見大旱，嚴 然是國際半導體業的先驅。在水資
重影響民生、工業供水，也使得用 源管理方面，建立用水減量指標，
水量龐大的晶圓廠受到不小影響， 設置各種水回收再利用系統將絕
因地形、氣候等先天因素，及地狹 大部分的廢水回收 圖2 ，達到科
由此可知，充足的水資源對於晶圓
人稠的後天影響，台灣的水資源比 學園區規定製程水回收率 85% 以
生產的重要性。
其他各國顯為短缺，加以氣候變遷 上，更進一步建立國際產業節水指
極端化，歷年降雨量趨勢兩極化 圖 公司在節水、回收處理技術方面已 標，在世界半導體協會推動減量活
期許在專案中不斷成長， 再生水專案對於環境水資源有極大
棟 勳 持續創造更卓越的廠務系 千 城 的正面效益，因此挑戰很高，必定
統，感謝各位工作夥伴的 蕭 C.C. Hsiao 全力以赴，謝謝夥伴們的協助與指
協助與包容。 導，後續將不斷自我精進。
萬 D.S. Wan
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 83
