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Improvement of
Slurry
Dispense
System
化學研磨液
供應系統的改善
文│孫聖哲│竹科廠務四部│
前言
隨著半導體國內蓬勃發展，對於製造精度要求是越來越嚴謹，正所謂
「失之毫里，差之千里」，整個產品製造線的任何環節若有差錯，影
響的就是產品的品質以及公司的信譽。而在整個製造過程中，影響產
品最大的兩個關鍵因子即為製造設備及原物料。原物料主要由廠務系
統供應，如何穩定供應及快速反應符合製造需求為目前的一大課題。
本章節所提化學機械研磨是半導體製造的一道程序，製造過程中使用
化學腐蝕性及機械研磨加工使矽晶圓及其沉積材料平坦化。研磨劑是
研磨顆粒與化學添加劑的混合物。研磨材料主要是石英、二氧化鋁和
氧化鈰，化學添加劑則是為了和要被移除的材料進行反應破壞其分子
竹科十二廠六期化學研磨液供應系統 攝影/洪湘寧
聯結使研磨更加容易。故研磨液的混和比例、研磨粒的均勻性以及供
應的穩定性是必須掌控的非常精準。現行各大廠商供應系統幾乎都符
合其供應原則，但隨著新世代製程的研發進展，唯有不斷的精進與創
新、找尋突破點並超越極限才能達到新製程的精度要求。抱持著「沒
有最好，只有更好」的精神，希冀能預防不良品質的研磨液。
擔任化學研磨供應系統負責人。
聖 哲
任何事情都有其前進的道路，唯有心的態度決定人生的高度，
感謝廠務夥伴的協助與支持。
興趣：電影、閱讀、健行、游泳、嘗試新事物。
孫 Sheng-Che Sun
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 25
