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檢測儀器：3D 追蹤 高精度規格要求的安裝量測，因人
工安裝量測方式不被信任，從而引
儀 (Tracker) 進讓人放心使用的高精密量測儀器
與 CNC 加工安裝制具；這讓人省
思，其他的安裝工法或是檢驗手法
剛開始 BTS 現場安裝前，得知自 是否仍有精進的空間。
主檢查表須跨樓層之數據，此數據
期許未來能夠以這些精進的結果為
使用以往的測量方式，已經無法達
基礎，更上一層樓，挑戰並取得更
成安裝需求，為了能夠完成安裝進
進步的技術與跨越。
度，尋找儀器「航太業專用之 3D
追蹤儀」 圖8，其精度可達小數點
之第二位，特別與廠商協調租借樣
品機，進廠與原廠討論試用後，原
廠也認同此儀器所量測的數據。
也發現其精度達小數點第二位的強
大效能，能在安裝流程上增加安裝 參考文獻
速度及使其符合原廠要求之精度準 [1] ASML NXE3350 Foundation Test
Report-4022_641_68175-160-001-01 自
確性，再加上針對自主檢測高達 檢表。
一百多頁之檢測報告，可以更快的 [2] ASML-EUV BTS-2016 版 本 Support
Frame Verification。
將結果準確的測量出來，減少現場 [3] 譜威科技 PW705G 操作手冊。
的耗時耗工。 [4] Leica AT401 3D 追蹤儀操作手冊。
結論
從開始確認規範需求，到增加複雜
度的圖面、高精度要求的安裝料
件、精密低誤差需求的現場安裝，
以及安裝環境的嚴苛要求，我們從
耗時、耗工且被質疑量測結果的傳
統作業方式，漸漸的改變工法、工
序及料件製作模式，設計、使用制
具並導入了新的檢測儀器，使現場
安裝的精度更加準確快速，量測效
率省時而準確。
有關安裝基座前的環境改造，因有
了失敗安裝的經驗，後續安裝前能
先將需求位置的迴孔孔洞封實，並
將安裝位置改造成能配合 BTS 安裝
高度，達到順利符合規格基座安裝
與檢測。
因高精度規格要求，在安裝過程中
採用 CNC 加工製作料件產品，如
能再條件允許的情況下使用於其他
的安裝機台，能減免因傳統加工產
生基座誤差，機台與基座定位孔距
無法安裝的問題。
300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 81
