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圖6、平板洗滌器構造示意圖(1 )[2] 圖7、平板洗滌器構造示意圖(2) [2]
乾淨空氣
泡罩
平板
髒空氣
氣流
平板之詳圖
應進行。直覺上若要去除酸性排氣
圖8、洗滌方式對粒狀污染物去除效率關係圖 [12]
中存在的氨氣，加入硫酸降低洗滌
水pH值是最容易的方式，但根據
99.9
[7]
99.8 Chien等人的研究 ，在酸性排氣洗
99.5 滌液中降低洗滌液pH值，對於酸類
99
98 與氨氣的去除效率均顯示不佳的去
Collection efficiency, (%) 90 圖 9顯示，若要同時平衡處理酸類
除效率(<50%)，如 圖9 。
95
80
與氨氣，洗滌水pH值最好維持在
70
60
50
質去除效率均低於30%，無法符合
Wet electrostatic precipitafor
40 High-energy venturi 8.9~9.3附近，但在此範圍兩種物
Fluid-bed scrubber
30 Spray scrubber 法規對於95%去除效率的要求。此
Wet cyclone
20 Water jet scrubber
Knockout chamber 外 圖9亦可看出，當洗滌液pH值範
10 圍偏離8.9~9.3過多時，對於酸類
1 10 100
Particle diameter, microns 或氨氣去除效率均呈現快速下降的
趨勢，這是因為酸性物質在水中進
行水解作用(hydrolyze)，解離成酸
圖9、酸類與氨氣去除效率與洗滌液pH值關係 [7] 根離子(acid ions)及氫離子，這種
水解作用速率，由氫離子受氫氧根
100
離子中和速率而定，但相對的鹼性
2
HF R = 0.7011 526 物質也需要氫離子進行中和作用，
80 HCl R = 0.7569
2
R = 0.9034 因此洗滌液pH值過於極端，均會造
2
NH 3
60 1577 465 477 成一方去除效率大幅下降。因此，
Removal efficiency (%) 40 654 1241 1650 365 927 188 231 也凸顯出改造立式洗滌塔酸鹼混排
透過化學藥劑調整並非有效方法，
76
348
1725
分段處理的必要性。15A廠預計進
173
20
110
行的洗滌塔改造工程，將採上下洗
0 131 滌液分流方式，先在洗滌塔入口以
8.8 981 1325 酸性洗滌液處理氨氣，處理後洗滌
-20 158 液回流至循環水槽，第二段再用鹼
1752
性洗滌液處理剩餘的酸類物質，同
-40 時循環水槽也會進行改造，使酸鹼
8.3 8.3 9.3 9.8 10.3
pH of the scrubbing liquid 兩段的洗滌液不會混合發生中和反
應，其構造如 圖10。
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 33
