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技術專文

依照洗滌塔原始尺寸計算，原本兩
圖10、立式洗滌塔改造示意圖
段洗滌層厚度各為1.2m，所以原本
處理酸性廢氣之填充層厚度總共為
2.4m，且原始設計去除效率下層為 改造前 改造後
90%，上層為80%，且改為分段洗 單段洗滌塔 去酸 兩段式改良 去酸 去氨
滌後，兩段之個別循環水流量不會
改變(新增加之氨氣洗滌段會新增
循環水pump與管路)，下面將計算 除霧層
填充層縮短為1.2m時酸性與氨氣排
鹼洗層
氣洗滌效果。 鹼洗層
上層集水分流層
– 以去除效率96%計算所需填充層 酸洗層
厚度，公式為 ，其
中 傳輸單位數、 為傳輸
單位高度
下層集水 上層集水
– ，
，因此填充層高度
，原本單段
表 2、單段與兩段洗滌對於酸類去除效率之比較
填充層設計厚度已達1.2m，因此
估計單段洗滌層仍可達原始設計 項目 單段 兩段
去除效率。
2
濕潤濕因子 (m /hr) 0.101 Top : 0.161; Bottom : 0.105
– 以填充層厚度=1.2m、進氣流速
=2.4m/s計算，滯留時間T=1.2
2
比表面積 (m /m ) 3 148 92
/2.4=0.5sec；潤濕因子計算：
滯留時間 (s) 0.5 1

去除效率 (%) 80 上層：80 ; 下層：90
填充材採用2.5"雙蓮花型，比表
2
3
3
2
面積：148m /m >90m /m ，
以上參數均符合「半導體製造 [8]
圖11、改良式紊流濕式洗滌器
業空氣污染管制及排放標準」所
訂之標準。另外依據Chien等人
[6]
的研究 ，單段水洗之滯留時間
(retention time)大於0 .5秒，及 Outlet ① Gas inlet
⑦ ② Collision plate
洗滌液pH值大於7，可推論酸類 ③ Nozzle
⑥ ④ Deflector
與氨氣去除效率仍可達到80%。
⑤ ② ⑤ First baffle
inlet ⑥ Second baffle
表2為單段水洗與兩段水洗之差異 ① ⑦ Gas outlet
⑧ ④ ③ ⑧ Water inlet
比較。
⑨ Drain
⑩ Support of MTWS
Byeon等人建構出新型的改良式紊 ⑨ ⑩
[8]
流濕式洗滌器 ，目的在於有效去
除廢氣中氨氣成分與衍生的氣膠
(aerosol)粒狀污染物。此種改良式
洗滌器，利用噴嘴將廢氣加速噴入
洗滌液中，利用與水面衝擊濺起的
氨氣具有良好的水溶性，在水中形 表示如下:
水霧進行洗滌作用，類似於罩泡塔
原理。此外洗滌器中的擋板會將濺 成氫氧化氨，也就是氫氧根與氨根
起水霧粒子擋住並回濺至廢氣中， 離子，若同時降低洗滌水pH值，會
可加強洗滌效果，其構造如 圖11 。 更加強氨氣水溶性，其化學反應式 以上述之平板式洗滌器原理，以及

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