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圖12、應用罩泡塔改造示意圖





















              Byeon等人研究來看,運用罩泡塔                條件下,酸類與氨氣洗滌層仍可有
              設計,可進一步同時改善酸性、氨                  80%以上之去除效率。
              氣與粒狀污染物的處理效率,在未
              來洗滌塔進行分段洗滌改造後,我
              們將引入罩泡塔概念進行第二階段
              改善方案,預計應用的罩泡塔構
                                              參考文獻
              造,如 圖12 。
                                               [1]   空氣污染防制專責人員訓練教材-氣狀污
                                                  染物防制,環訓所,2017
                                               [2]   空氣污染防制專責人員訓練教材-粒狀污
                                                  染物防制,環訓所,2017
                                               [3]   黃俊超等著,低濃度酸鹼廢氣高效率洗
                                                  滌技術實廠應用案例,工研院能源與環
              結論                                  境研究所,2014
                                               [4]   白曛綾等著,操作績效自我評估管理制
                                                  度手冊-酸鹼性氣體洗滌塔,交大環工
                                                  所,2003
                                               [5]   半導體製造業空氣污染物排放標準
              傳統式洗滌塔利用填充物,使洗滌                  [6]   C.L. Chien et al, “High-efficiency
                                                  parallel-plate wet scrubber (PPWS) for
              液平均分布在填充物表面上,在相                     soluble gas removal”, Separation and
              同的洗滌液量下,達到最高的廢氣                     Purification Technology 142, pp 189-
                                                  195, 2015
              接觸量,但此種方式無法有效利用                  [7]   H.M. Chien et al, “Field enhancement
              廢氣含有的動能,任其透過壓損消                     of packed-bed performance for low-
                                                  concentration acideic and basis waste
              耗在填充物上。                             gases  from semiconductor manu-
                                                  facturing process”, Journal of the Air &
              應用罩泡塔概念,可利用廢氣本身                     Waste Management Association 55, pp
                                                  647-657, 2005
              動能,進一步擴大液氣接觸面積,                  [8]   S.H. Byeon et al, “Removal of ammonia
              除了提升氣狀污染物之氨氣去除效                     and particulate matter using a modified
                                                  turbulent wet scrubbing system”,
              率,也可同時收集粒狀污染物之氣                     Separation and Purification Technology
              膠微粒;此外同時透過酸鹼分段處                     98, pp 221-229, 2012
                                               [9]   科學Online高瞻自然科學教學資源平台
              理,可避免同時處理酸鹼廢氣無法                     石油分餾http://highscope.ch.ntu.edu.
              提升處理效率的窘境,也能預防酸                     tw/wordpress/?p=5128
                                               [10]  http://encyclopedia.thefreedictionary.
              鹼排氣在煙囪中發生再反應,減少                     com/fractional+distillation
              白煙發生機會。                          [11]   行政院環境保護署空氣品質監測網
                                               [12]  F.N. Kemmer, “The NALCO water
                                                  handbook 2nded”, McGraw-Hill Book
              目前15A廠預計應用的改善方法,
                                                  Company, 1988
              僅有分段洗滌部分,將來改善氨氣
              去除率後,再進一步著手整體去除
              效率提升,也就是罩泡塔實際應用
              的部分。依據前述之估算,即使酸
              洗層厚度從2.4m縮減至1.2m,在
              滯留時間=0.5s、潤濕因子=0.101
                2
                                       3
                                    2
              m /hr、比表面積=148m /m 操作

                                                                               300mm FABS FACILITY JOURNAL          JUNE  2018  35
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