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圖12、應用罩泡塔改造示意圖
Byeon等人研究來看,運用罩泡塔 條件下,酸類與氨氣洗滌層仍可有
設計,可進一步同時改善酸性、氨 80%以上之去除效率。
氣與粒狀污染物的處理效率,在未
來洗滌塔進行分段洗滌改造後,我
們將引入罩泡塔概念進行第二階段
改善方案,預計應用的罩泡塔構
參考文獻
造,如 圖12 。
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目前15A廠預計應用的改善方法,
Company, 1988
僅有分段洗滌部分,將來改善氨氣
去除率後,再進一步著手整體去除
效率提升,也就是罩泡塔實際應用
的部分。依據前述之估算,即使酸
洗層厚度從2.4m縮減至1.2m,在
滯留時間=0.5s、潤濕因子=0.101
2
3
2
m /hr、比表面積=148m /m 操作
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 35