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Tech
Notes
技術專文

影響。
圖1、ECP區域IPA來源示意圖
如 圖3為廠務無塵室空調系統常見
的配置有MAU及FFU (Fan Filter
Unit)循環系統，為了維持無塵室內 IPA Funnel
Penthouse
AMC品質，會在MAU箱體內安裝 Air
Abatement
化學濾網以過濾外氣AMC及無塵室 system (AAS)
天花板FFU上方安裝三合一化學濾 MAU
DCC DCC
網維持維持無塵室內AMC品質，如
圖3的A及B點位置。 [2]
MA MA
IPA IPA
圖4為2017年F12P4 MAU及ECP FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU 貢獻
AMHS System OHT OHT 70%
環境IPA趨勢圖，當MAU出口IPA IPA
3
高於8ug/m 時，將使ECP區域環境 Etch, CMP 1. Tool PM 貢獻30% ECP
2. Leakage
EQ EQ
IPA濃度上升，需頻繁更換環境濾
3
網以避免環境IPA>10ug/m 。 IPA
Return Air Return Air
圖5 為MAU出口IPA趨勢圖，在
2017/7/6 MAU安裝Cylinder Type
TOC化學濾網後，MAU出口IPA濃
3
3
度10ug/m (>8ug/m )，3天後更 圖2、F12P4/5季節風向與MAU進氣口IPA濃度關係
3
上升至16.7ug/m ，無法有效控制
3
MAU出口IPA濃度小於8ug/m 。 IPA (ug/m ) 3
72.0
所以IPA進入ECP環境，為避免ECP 64.8
60.0
3
環境IPA大於10ug/m ，廠務於無 52.8
45.6
塵室天花板FFU上方安裝三合一化 進氣口MAU 進氣口MAU 進氣口MAU 進氣口MAU 進氣口MAU 進氣口MAU 38.4
33.6
學濾網過濾IPA，但三合一化學濾 26.4
20.2
網過濾IPA的效能也很低，約2~3天 13.7
7.2
更換一次濾網，1個月內更換了12 N E
次化學濾網，如 圖6所示。
夏季西南風 靜風 冬季東北風
因ECP區環境IPA主要來自於MAU
引入外氣，且MAU TOC化學濾網
過濾IPA效能不佳。所以將目標設
定提升MAU TOC化學濾網效率及
增加濾網壽命，將MAU出口IPA控 “微汙染防治─十二廠六期電化學 方的環境FFU化學濾網，只有局部
3
制在8ug/m 以下，以降低ECP區 電鍍製程環境異丙醇減量之應用與 區域環境IPA濃度受到控制，如 圖8
[1]
環境IPA濃度，減少環境濾網的用 探討” 一文提出，藉由揮發性有 示意圖。若能使用化學濾網將外氣
3
量。 機物(VOCs)處理設備氣密改善及 IPA控制8μg/m 以下，ECP全區環
酸性氣體處理設備(SEX)提升換水 境IPA則可受到控制。
率進而降低外氣IPA汙染源，並改
善ECP環境隔間氣密及流場，搭配
增加TOC化學濾網壽命研究
文獻回顧 新型IPA濾網之應用，可有效降低
ECP環境內IPA濃度。 在“AM C控制技術─談化學濾
[3]
網” 一文中提出化學濾網設計的
降低汙染源可以降低外氣I PA濃
本研究將以近年對ECP區異丙醇減 原則不外乎是在適當的結構強度下
度，但汙染源濃度可能隨著製程
量研究現況、國內對增加AMC濾 建構低阻抗及高處理表面積的化學
需求增加而增加，且相鄰廠區間
網壽命及活性碳脫附再生的相關研 濾網，減低污染氣流通過的面速度
的交叉汙染，都會影響著外氣IPA
究，作為本篇文獻回顧範圍，主要 或增長與濾網吸附劑的滯留時間。
濃度，當外氣IPA的濃度升高超過
探討的重點為如何增加TOC化學濾 3 “添著活性碳對甲苯吸附處理與等
8μg/m ，如 圖7所示，上文提出在
網壽命來控制外氣IPA濃度，以及 溫吸附特性之研究” 一文，其研
[5]
ECP環境使用IPA濾網可以降低環
如何再生TOC化學濾網。 究主要目標是針對甲苯所引起之環
境IPA濃度。在運轉實務上我們較
境空氣污染，利用添著活性碳吸附
ECP區環境IPA減量研究現況 常更換GC-MS環境及機台採樣點上
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