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Tech
Notes
技術專文
Research on
IPA
Chemical
Filter
Efficiency
Improvement
談異丙醇化學濾網
使用效率提升之研究
異丙醇 (IPA) 對於電化學電鍍 (ECP) 製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP 區域 IPA 主要來源為外氣空調
箱 (MAU) 引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放 ( 約佔 70%)，其次為化學研磨製程 (CMP) 機台
洩漏或蝕刻機台保養使用 IPA 擦拭，經由自動化搬運系統夾帶氣流或自動門開啟引入至 ECP 環境 ( 約占
30%)。因 MAU 總有機碳 (TOC) 化學濾網過濾 IPA 效率差，故 IPA 進入 ECP 區域造成環境及機台化學濾網
更換頻繁。本文介紹在 F12P4 ECP 區導入區域型 MAU 濾網箱後，可有效過濾外氣 IPA，環境濾網更換次
數在 15 天內由 6 次降為 1 次，濾網費用每年節省 NTD 5.0M。後續又開發出 TOC 濾網低溫脫附再生技術，
以達到綠色製造及永續經營之目標。
關鍵詞／異丙醇、揮發性有機物、總有機碳濾網
Keywords/ Isopropyl Alcohol (IPA), Volatile Organic Compound(VOC), Total Organic Carbon (TOC) Filter
文│林瑞昆 │竹科廠務三部│
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