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表 3、國內建議優先調查之 30 種有害空氣 圖1、VOC處理技術的分類
污染物

類別 有害空氣污染物名稱 固定床活性碳吸附塔
吸附法
流體化床吸附系統
揮發 Benzene 苯
性有
機物 Styrene 苯乙烯 填充式洗滌塔
濕式洗滌法
1,2-Dichloroethane1,2-二氯乙烯 化學洗滌技術

Trichloroethylene 三氯乙烯 直燃式焚化爐 (Thermal Oxidizer)
Ethylbenzene 乙苯 觸媒式焚化爐 (Catalyst Thermal Oxidizer)
焚化法
Chloroform 氯仿
蓄熱式焚化爐 (Regenerative Thermal Oxidizer)
Toluene 甲苯
蓄熱觸媒式焚化爐 (Regenerative Catalyst Thermal Oxidizer)
Xylene 二甲苯
生物濾床
Tetrachloroethylene 四氯乙烯
生物滴濾塔
Methylene chlororide 二氯甲烷
生物處理法
蓄熱式焚化爐 (Regenerative Thermal Oxidizer)
Dimethyl Formamide 二甲基甲
醯胺
蓄熱觸媒式焚化爐 (Regenerative Catalyst Thermal Oxidizer)
1,1-Dichloroethane1,1- 二氯乙烷
Phenol 酚
Tetrachloromethane 四氯甲烷
價格低廉、應用廣泛；但生命周周 本相對低廉，不適用於高濃度、
1,1,1-Trichloroethane1,1,1-三氯
乙烷 期短，廢棄活性碳的之後續處理所 高溫及含具毒害物質之廢氣，且反
衍生的環保問題，故活性碳吸附並 應時間較長及佔地面積較大為其缺
Methanol 甲醇
非長期可行的選擇。沸石轉輪吸附 點，另外，控制操作之技術層次較
Furans 夫喃 適用於低濃度之廢氣，在處理低濃 高。
Methyl phenol 甲酚 度氣體時有甚佳效率，對含大量
冷凝處理法其設置與操作成本皆偏
粉塵及水分之氣體需前處理，但若
Methyl isobutyl ketone 甲異丁酮 高，一般而言，多與其它控制設備
廢氣中含大量高沸點VOCs則不適
Butylacetate 醋酸丁酯 合併使用，通常置於其它防制設備
合以吸附設備處理，避免脫附再生
之前進行預處理，去除特定物質。
Carbon disulfide (二硫化碳) 效果不佳。此外高風量低濃度之廢
含重 Arsenic 砷 氣，先以沸石轉輪濃縮再進行熱焚 串聯法為集合各種方法之優點，在
金屬 化處理，更可提高經濟效益。 成本、效率、可靠度等考量下取得
Chromium 鉻
一最佳解。本公司目前是採用串聯
濕式洗滌法具有設置及操作成本低
Cadmium 鎘 法。
廉且操作簡易之優勢，但會產生大
Lead 鉛
量的廢水，且除水溶性VOsC可被 VOCs處理技術的規畫評估
酸氣 Nitric acid 硝酸 移除外，對大部份VOCs而言，去 注意事項
Hydrogen chloride 鹽酸 除效果皆不佳。且廢水處理將造成
在進行VOCs處理規劃時，必須對
臭味逸散問題。
Sulfuric acid 硫酸 所有現行及正在推動之環保法規、
熱焚化法適合處理低風量高濃度高 最佳可行處理方式、衍生之二次污
其他 Carcinogenic PAHs 致癌性多環
芳香烴化合物 溫之廢氣，其處理效率可達99%以 染問題、初設費用、操作費用、可
Naphthalene 奈 上，幾乎可完全去除VOCs，但含 設置空間、安全性等做一完整妥善
塵濃度高者須進行前處理，若使用 的評估。
蓄熱式焚化爐可大幅減少燃料量；
關於安全性的考量，須考慮其最
觸媒焚化爐或蓄熱式觸媒焚化爐，
低爆炸下限(lower explosive limit,
圖1 。 需注意觸媒毒化的問題。
LEL)及高爆炸上限(upper explo-
吸附法主要以活性碳或沸石轉輪利 生物處理法，適合處理含水溶性 sive limit, UEL)。考慮UEL時，空
用吸附原理去除VOCs，活性碳塔 VOCs廢氣，且初設成本與操作成 氣量之限制與自發著火反應有密切

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 9