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圖3、Local scrubber異常PM停機時間

40,000
36,500
35,000 30,660
異常停機時間(小時/年) 25,000
30,000

20,000
15,000
10,000
4,818 5,996
5,000 3,437
0
DAS STYRAX_DUO DAS ESCAPE_DUO IPI SGA-310B+ WTC-300 廢氣管路

bber使用，其powder阻塞情形也會
圖4、真空泵浦背壓偵測範圍
有所不同，甚至生產產能的多寡也
會影響powder累積的程度。因此
製程廢氣 中央處理系統 各個廠區之間所遇到的阻塞異常，
廢氣管路 其實都不盡相同，例如南科廠區
廢氣 排氣
真空 入口 風管 自2015年始所遇到的各種阻塞異
管路
常，相較於其他廠區之間，因為製
真空泵浦
跳脫 程與產能各有差異，所以遇到的阻
削減處理 塞情形也就不一定相同，如 表2 。
背壓 背壓
偵測 過高 而南科廠區自阻塞問題發生初期，
阻塞
為避免突發的異常而影響PM人員
工作安排甚至是生產，因此各Local
真空泵浦 廢氣處理設備
scubber系統負責人往往是將PM週
期進行縮短調整，以極早提前PM
來預防，雖然確實有效的減少了臨
圖5、流場改善示意 [2]
時性的異常阻塞狀況發生，但衍生
的卻是PM人員負擔的增重，以及
Local scrubber經常性停機PM的浪
費，因此這種作法僅能做為短期的
防範措施，並不能夠長期實施，畢
竟僅依賴人員被動的提前PM，恐
有錯失週期或PM不確實的風險，
因此最好的方法還是要去針對問題
進行改善，主動的將阻塞異常避免
或排除，才是維持穩定運轉的長久
固定巡檢或有效的偵測器進行提 powder阻塞延長PM週期。
之計。因此在面對這些阻塞問題
前預警偵測，設定合理PM週期規
然而並非所有的紊流流場皆能夠進 時，我們首先執行了多次的作業觀
劃，降低阻塞事故發生。而水路管
行流場的改善，如受限於機台空間 察去發掘真正的阻塞點，以及分析
件阻塞問題，則提前在循環水槽增
而必須配置彎管轉向，或是多管路 每個阻塞點powder的特性，並查
設柵欄阻隔powder，避免阻塞後
匯集後進入同一單元處理以及大小 向源頭端詢問設備製程所使用到的
[2]
段管路。郭勝欽 則研究過powder 氣體種類，以了解這些廢氣轉換成
管路空間的轉換等，這些都是無法
沉積阻塞的原因，是因為廢氣引氣 powder後的原因與成份，最後與
將其隨意修改的因素。面對這些困
管路匯合或轉向，造成流場紊流形 Local scrubber廠商討論評估改善
難點，就必須要另外設置合適的改
成，因此其以改善流場減少流體損 方案的可行性並付諸行動。因此每
善措施使用。
失係數，如 圖5，讓廢氣流動順暢 一項改善措施都會因為製程、Local
避免與管路的碰撞，終得以減少 不同的製程或不同的Local scru- scrubber機型或是阻塞位置的不

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 59