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表 2、TSMC 各廠 Local Scrubber 阻塞異常改善作法

機型 製程 阻塞位置 F14B F14A F15A F15P5 F15P6 F12P12 F12P3 F12P45 F12P6 F12P7

DAS 薄膜 排氣風門 過濾攔捕 無 無 機型不同 機型不同 無 無 無 無 無
STYRAX DUO
爐膛 氣體沖吹 無 無 機型不同 機型不同 無 無 無 無 無
DAS 蝕刻 爐膛 氣體沖吹 氣體沖吹 無 無 無 無 無 無 無 無
ESCAPE DUO
廢氣入口 刮刀破壞 刮刀破壞 機型不同 機型不同 無 機型不同 刮刀破壞 機型不同 無 機型不同
IPI 擴散 爐膛 刮刀破壞 無 無 無 無 機型不同 無 機型不同 無 無
SGA-310B+
廢氣入口 氣體沖吹 無 無 無 無 機型不同 無 機型不同 氣體沖吹 無
WTC-300 薄膜 循環水噴頭 過濾攔捕 機型不同 無 無 過濾攔捕 過濾攔捕 無 無 無 過濾攔捕
廢氣管路 薄膜 P型管夾/管夾 加溫延緩 加溫延緩 阻塞不大 阻塞不大 阻塞不大 加溫延緩 加溫延緩 阻塞不大 阻塞不大 阻塞不大

同，而有其對應的改善設計，因此
圖6、高壓氣體沖吹生成物
我們將南科廠區所使用的這些改善
方法，分類歸納成氣體沖吹、過濾
攔捕、刮刀破壞、加溫延緩這四種
生成物
方式。這四種方式都是以南科廠區
沖吹力
實際發生的案例，深入研究探討 高壓氣體
各組塞點powder的產生原因與特 黏滯力
性，以開發出能夠避免、攔捕、破
壞或減緩powder的改善措施。 摩擦力 累積面

氣體沖吹
有些powder的質地較為鬆軟，在 STYRAX DUO爐膛阻塞，以及DIF 圖7、DAS ESCAPE DUO爐膛阻塞改善
還未累積一定厚度茁壯以前，可 Poly製程的IPI SGA-310B+廢氣入
利用高壓氣體為動力朝著powder 口阻塞，這些製程與機型的改善措
附著累積位置沖吹，除了可以將 施，就是在powder附著的位置，
表面的powder吹落以外，還能夠 設計一與累積面平行的高壓氣體管 水洗段
形成一道氣膜在表面，減少被附著 路，並調整合適的時間與流量去沖
的機會。而高壓氣體所需提供的 吹。因此DAS ESCAPE DUO的改 爐膛
沖吹力，必須要能夠大於powder 善方式，即是在爐膛下方設置四個 生成物
在累積面的黏滯力與摩擦力，才 沖吹口，並以壓縮乾燥空氣(Clean
能有效吹落，如 圖6。因此以F=ma Dry Air，CDA)為高壓氣源釋放 往廢水槽
壓縮氣體
為基礎理論，m為powder質量，a 30 slm的流量，在平行於爐膛的 廢氣入口 壓縮氣體
廢氣入口
為powder吹落後的移動加速度， 累積表面進行沖吹，如 圖7 。DAS
STYRAX DUO的改善則是於爐膛上
要讓多大的powder移動多遠的距 廢氣入口
方設置四個沖吹口，以30 slm的氮
離，就取決於高壓氣體的沖吹量與
氣平行沖吹爐膛累積面，如 圖8。
時間設定。沖吹的間隔時間決定了
IPI SGA-310B+改善方式是在廢氣
powder累積的質量，而powder累
入口處，加裝一組氮氣自動沖吹裝 被水沖刷或掉落到水槽。但有些
積的質量決定了高壓氣體的流量。
置，以每14分鐘沖吹3 slm的氮氣7 po wder因隨著氣流或水流的帶
所以最佳的沖吹量與時間，必須
分鐘，如 圖9 。 動，而被送到其他不該存在的位置
要先行進行多次的powder累積處
的作業觀察後再設定，而最佳的 造成阻塞或設備異常，因此在這些
沖吹角度，則與累積面平行為最 過濾攔捕 氣流或水流的流動動線上，可設
佳。如ETCH製程的DAS ESCAPE 大部分powder出現的位置，會 置一個過濾裝置進行powder的攔
DUO爐膛阻塞、N-EPI製程的DAS 在高溫反應的高溫區域，或是因 捕，如 圖10 ，使那些散落於各處的

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