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圖8、DAS STYRAX DUO爐膛阻塞改善 圖9、IPI SGA-310B+廢氣入口阻塞改善 圖10、流動動線過濾裝置示意

廢氣入口 廢氣入口
廢氣入口 廢氣入口
過濾裝置
加熱棒 過濾前 過濾後
氮氣 氮氣 氮氣 氮氣

生成物

生成物 爐膛
原該區域的補水設置，讓過濾裝置
爐膛
範圍形成乾燥區，使得powder在
旋轉刮刀 此區即刻成形而被攔捕，待攔捕達
上限之前，再利用其另一項易溶於
往廢水槽 往廢水槽 水的特性，將補水復原並沖洗滿是
powder的過濾裝置至水槽，以達
到重複使用的效果，如 圖12 。

圖11、WTC-300循環泵與噴頭阻塞改善
刮刀破壞
灑水頭
生成物 有些製程powder形成累積速度很
快，一旦開始附著很快就會有一定
M
廢氣入口 的厚度與硬度，因此無法使用固定
風扇
壓力設定高壓氣體進行沖吹改善，
此時就必須要倚賴更堅固的固體進
爐膛 行外力破壞，一般稱此固體裝置
出口 為刮刀。刮刀裝置的設計，在有些
水洗段
Local scrubber原始設計上早已存
3/6”
[4]
A 3/8” 在，如電熱式KT-1000FA 、WTC-
入口 1”
[5]
[6]
水洗段 300 、IPI-310B+ ，以及燃燒式
[7]
DAS ESCAPE DUO 、EDWARDS
[8]
HELIOS 等都可見類似設計，而刮
刀裝置的形式可分為伸縮式跟旋轉
濾籃
式兩種，其主要是將刮刀固定於
廢水槽
伸縮式氣壓缸或旋轉式氣壓缸的
循環泵
作動軸上，如 圖13，並使用高壓
氣體去推動作動軸進行伸縮或旋
轉運動，使得軸上的刮刀可以將
powder刮除乾淨。伸縮式刮刀的
powder能夠先集中起來再進行處 因此就在這些阻塞點之前的流動路
作動模式是突進與收縮，而刮刀在
理。 徑上，放置一個壓損合理的過濾裝
收縮期間都是隱藏狀態，故適合裝
置，先將powder攔捕集中起來。
過濾裝置的裝設會增加氣流或水 設於小尺寸管路上，反之旋轉式刮
因此WTC-300即在水槽中的循環
流的壓損，過大的壓損影響原本 刀的作動模式是在固定圓圈範圍內
系統的氣流或水流運轉，因此在 水吸入口之前放置一組濾籃，濾籃 轉動，其作動前後刮刀都會存在空
設計過濾攔捕的密度時，須先了解 的過濾密度剛好能將水槽中粒徑尺 間內，而轉動範圍的大小則由刮刀
想要攔捕的powder粒徑大小，讓 寸足以塞住灑水頭的powder攔捕 力臂長短決定，所以適合應用於空
該通過的過去，不該通過的留下。 下來，使得循環水流動順暢，如 圖 間較大位置。伸縮式刮刀的突進長
在CVD製程的WTC-300循環水噴 11。而DAS STYRAX DUO則是在 度與旋轉式刮刀的轉動力臂與刮刀
頭 阻 塞 ， 以 及 N -E PI製 程 的 D A S 排氣風門前加裝過濾裝置，且因經 長度，需設計足以涵蓋到powder
STYRAX DUO排氣風門阻塞，就 由測試與化驗證實powder成份為 累積範圍，才能確保有效刮除。如
是因為powder分別受到水流與氣 氯化銨(NH 4 Cl)，即先利用其乾燥後 DIF Poly製程的IPI SGA-310B+爐
[3]
流的帶動，造成了這些阻塞異常， 會乾涸成powder的特性 ，先取消 膛阻塞，及ETCH Metal製程的DAS

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 61