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Tech
Notes
技術專文

車灌充頻率，使得桶槽內的化學品 均須注意同一件重要的事情：Pi- 在這些運轉問題之中，以化學品的
參考文獻
在切上線供應前的循環過濾次數降 run之前，供應管路內的化學品須 供應品質最為關鍵，目前化學品的
[1] 薛正誠，2006，A Study on the techno-
低所致。以高溫硫酸為例，在工廠 作足夠量的Flush，讓管路內的舊 金屬離子不純物及混酸濃度的監測 nogy Ramp-up Models in the semicon-
ductor integrated circuts industry，國
量產初期，槽車灌充頻率約每24小 化學品完全置換，確保Pi-run機台 技術均已發展完備，且在各廠內均 立台灣大學碩士論文。
時灌充一車，此時化學品在供應至 使用到的化學品為當次灌充的原物 已成熟運用。然而對於線上影響最 [2] 王嘉玲，2006，CALS 之模型分析方
法–IDEF、ARIS與OOA/OOD，取自：
線上之前的平均過濾次數可達7.2 料，尤其是黏滯性較高的硫酸，其 為重要Particle指標，相關的量測技
http://www.ixon.com.tw/
次。然而隨著產能提高，原物料耗 在管路內的流速較慢，更須對Pi- 術仍相當缺乏，尤以製程將邁入更 [3] Mayer, R. J., Painter, M. K., Dewitte, P.
S., 1994. IDEF Family of Methods for
用量增加，槽車灌充頻率增加到約 run前的機台Flush時間嚴謹設定。 新的製程階段，對於粒徑更小的微
Concurrent Engineering and Business
每15.5 小時灌充一車，平均過濾 近期2016新廠即發生硫酸Pi-run前 粒偵測技術將更顯重要，故針對粒 Re-engineering Application, Knowledge
Based System Inc.
次數降至僅剩3.6次。 機台Flush量不足，使得有問題的 徑小於20奈米以下的微粒計數器開
[4] 陳世榮，1995，設計變更管理系統參考
原物料灌入桶槽後未被Pi-run機台 發，將會是未來廠務氣化系統運轉 模型，國立交通大學碩士論文。
運轉策略1 抓到，切上線供應後導致線上機台 品質相關技術中最為重要的發展重 [5] 王柏元，2007，以IDEF模型化製造現場
監控系統之研究－以為機電生產管制系
Particle全數跳起而影響生產。 點之一。 統為例，國立中央大學碩士論文。
透過FHM建置化學品過濾次數指標 [6] Gong, D. C., Shei, Y. W., 1997, The
自動計算功能。透過此資料庫的建 最後，由於先進製程量產廠的產 IDEF0 Reference Model for the Shop
置，明確訂定Lorry桶槽內的化學 運轉策略3 值佔公司營收重要的比例，且比 Flow Control Information System.
Journal of the Chinese Institute of
品於切上線供應之前的過濾次數標 目前大宗化學品灌充前僅量測金屬 重將會逐年增加，建議公司依照 Industrial Engineers, Vol 14, 29 – 37.
[7] Jiang, Y. L ., Fang, Z . M., 2015,
準。 不純物，建議未來加裝可測得粒 每年營收之一定比例，配給預算用 Modeling and Simulation of Virtual
徑小於20奈米以下的微粒計數器 於增加廠務關鍵供應系統備用機 Enterprice Production Logestic System,
Jounral of Ninbo University (Natural
運轉策略2 (Particle Counter)，針對最主要影 制(Backup)的建立，如大宗氣體或 Science & Engineering Edition).
響線上生產機台的Particle不純物增 化學管路跨廠區的串接或是備用 [8] Waissi, G. R., Demir, M., Humble, J. E.,
建置大宗化學品試供應系統(Pilot Lev, B., 2015, Automation of Strategy
設一道防線，為原物料品質多設一 (Backup) 管路的建立等，以降低供 Using IDEF0 – A Proof of Concenpt.
Run, Pi-run)。大宗化學品由槽車
道把關。 應系統重大中斷風險而造成公司營 Operation Research Perspectives, Vol
(Lorry)供應，標準建置為兩顆Lorry 2, 106 – 113.
收損失受到巨大影響。 [9] 劉俊男、黃介然，(2015)，一個新穎的
桶槽，當其中一顆正在供應給工廠
穩定濃度供氣技術：高活性劇毒氣體的
生產時，另一邊桶槽即進行灌充作 應用。新工季刊，Vol 18，56 – 61。
業，讓兩顆桶槽可輪流切換供應。
2016年新廠所建置之Pi-run系統， 結論與建議
其模式為讓剛灌充完畢內桶槽的
酸，直接供應給線上一台專門負責
Pi-run的機台進行量測，確認原物 本研究透過IEDF0的優勢找到Copy
料內的Particle符合標準後，此桶 Exactly的可能盲點，改善量產 FAB
槽內的酸才可正式切上線給生產機 氣體化學供應系統控制質與量的完
台。此做法之優點為Pi-run邏輯較 整性與一致性的(Con-sistence)。
為單純，缺點則是若Pi-run發生問 對廠 務系 統來 說， 廣義的 C op y
題，需要將整桶Lorry桶槽的化學品 Exactly要做到的不單是每一套系統
排除，不僅耗時耗力且會增加大量 硬體及運轉參數的alignment，如何
的廢棄物。 讓原物料在量產FAB與RD階段，原
務料品質行為都是一致性的，才能
2018年新廠進建置化學品的Pi-run
算是成功的Copy Exactly先進製程
系統，做法和2016年新廠不同，
轉量產的廠務系統。
其另外設置了一套Pi-run專用的化
學品供應系統，當槽車準備灌充 IEDF0將研發先進製程轉量產的過
前，會先將少量的化學品灌入此Pi- 程中，分為三個主要階段與五個次
run 系統，再由其供應給特定的Pi- 要流程，針對這些流程，依新廠運
run機台進行測試，待Pi-run確認品 轉經驗與各廠專業人士的意見，彙
質無虞後，槽車才會把剩餘的化學 整出五大問題及十一項運轉策略與
品全數灌入Lorry桶槽內。此作法之 建議。這些問題涵蓋了從建廠初期
優點為發生Pi-run失敗的情況，僅 改善管路Flush效率的議題，到穩定
須將Pi-run CDU較小顆桶槽內的化 量產後供應系統的運轉風險考量。
學品排掉即可，不會耗費太多人力 而相對應的運轉策略及建議則包含
及造成大量廢液排放。 了，現場的工法、FHM系統和機台
之間的智慧連結、到對新廠規劃的
此兩種Pi-run方式雖不盡相同，但
設計建議等等。

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