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Tech
Notes
技術專文
Improvement of
Removal Efficiency
Using
Reverse-
direction
Desorption in
Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善
沸石濃縮轉輪去除效率
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文│何大弘 姚文淙 謝振友 │ 竹科廠務一部 中科廠務三部│
前言
隨著我國環保法規日趨嚴格，以及社會大眾普遍環保意識提升，針
對空氣污染改善之要求亦更加全面。其中揮發性有機物（Volatile
竹科十二廠一期製程尾氣處理系統 攝影 / 姚文淙
Organic Compounds，VOCs）便是主要的監測污染物之一，因VOCs
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附
Abstract 後，沸石轉輪會因脫附溫度不均勻而導致效率逐漸下降。另外在歐盟全面禁用陶瓷纖維之後，沸石轉輪將 何 氣中，亦可能經由皮膚接觸或透過呼吸系統對人體產生負面影響，並
在陽光下經紫外線照射後易形成臭氧等二次污染物。若大量排放至空
能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用
有致癌之可能。故VOCs排放已經是空污檢測之重要指標，同時亦是
逐步汰換為結構較脆弱的玻璃纖維結構。故本文研究沸石轉輪高溫逆脫附技術，在高溫脫附以及定期水洗
空污排放之主要管制項目。
之外，提供轉輪再生的另一方向。根據研究結果，轉輪製程氣體入口處可改善 20% 之吸附容量。而非甲
烷總烴（NMHC）儀器分析，高溫轉輪逆脫附運轉可使出口處理濃度改善 12%、去除率達到 98%，單台
成功就是不懈的努力加上
大
弘
VOCs 處理設備排放預估減量可達到 0.14 噸 / 年。供成廠區運轉以及空污改善之參考。
一點點機會，努力是加法，
持續創新，才是
務技術的日新月異。更幸運在公
機會是乘法，兩者兼備才 文 淙 姚 Elton Yau 投身廠務工作近二十載，經歷廠 振 友 謝 Cheng Yu Hsieh 唯有全力以赴及
F12P12 邁向下個
司總是能參與到最天馬行空的
關鍵詞 / 沸石轉輪、揮發性有機物、吸附、脫附 會得到最大的結果。 想法，與最先進的技術執行力。 20 年的基石 !
Scott Ho
Keywords/Zeolite Concentrator, Volatile Organic Compound(VOC), Absorption, Desorption
32 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 33
