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002 AMC潔淨空氣展望
Zero Contamination Supply Roadmap of AMC
葉彥甫/新廠設計部
009 TOC濾網再生技術探討
Discussion on TOC Filter Recycling Technology
鄭鑫/竹科廠務一部

013 AMC汙染源即時顯示概念總覽
The Conception of AMC Pollution Real-time monitor management
劉宜鑫 陳彥佑/竹科廠務二部
018 AMC濃度分布圖之視覺化管理
Visual Management for AMC Concentration Map
蔡廷亞 邱保仁 / 竹科廠務三部 廠務處
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028 防微杜漸–ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制
ECP/B.S. Area IPA total solution and management
林瑞昆/竹科廠務三部
039 FAB Chiller CXF Reduction–從源頭作起
FAB Chiller CXF Reduction from the Source
蔡豐合 黃旭杰/竹科廠務三部
044 從空污及煙流模擬改善運轉廠區AMC微污染
AMC Improvement Using CFD Analysis in CUP Area
林志穎 古義榔/竹科廠務四部

053 AMC污染應變對策及復原程序
Response Methodology of AMC Contamination and Recovery Procedure
江維捷/南科廠務1廠務一部
062 AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制
Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and
filter efficiency detection mechanism
蕭睿呈/南科廠務1廠務一部
068 外氣AMC MeCl 防禦機制
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Defense Mechanism of Outside Air AMC MeCl 2
陳睿森/南科廠務1廠務一部

074 CWR機台IPA逸散減量與區域防禦機制
Local Defense and Reduction of IPA from CWR area
黃子郝 黃柏諺 王壹龍/南科廠務2廠務一部
079 半導體製程無塵室環境IPA來源分析與防治
Analysis and prevention IPA sources in clean room environment
張書豪 池健誠/中科廠務一部

087 空污對微污染影響的探討與防禦
Research and Defense of Air Pollution Impact on AMC
王威凱/中科廠務一部
095 AMC零污染–無塵室異丙醇及丙酮濃度改善
No AMC Contamination–IPA/Acetone Concentration Improvement in CleanRoom
楊尊中 陳民軒/中科廠務三部

102 南京外氣AMC的危機與探究
The crisis and exploration of air AMC in Nanjing
屈悅 許焱欽/南京廠務一部
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