Page 8 - Vol.39

Tech
Notes
技術專文

水洗 ②中空纖維(Hollow Cored Fibre) ③汙染隔離，如 表3所示。

表3、AMC零汙染實驗計畫

AMC Defense As Is To Be Target
Filteration Pre-treatment Pre-filter/Airwasher Dual Airwasher with DI IPA/Acetone
Post-treatment AMC(ACF)Filter Hollow Cored Fibre MC
Enclosure/Segregation Main Process including Clean Porcess MA/MC/MC/MD

IPA/Acetone本身水溶性極強，強化Airwasher水洗效率對其效果顯著，實驗一於既有MAU Airwaher進行，採樣時間
不換水，並於Airwasher前後兩端架設TOC off-line監測儀Mitap(ppb level)，進而了解DI水經由Airwasher花灑後對於IPA/

Acetone的捕集效率及其飽和後IPA/Acetone逸散濃度的影響，如 圖7所示。

95% Pre - Cooler Cool Cooler Re - Chemical HEPA
filter heater 1 Fog Air Washer 2 heater filter filter

+ FAN - - +

Inlet Water sampling Outlet
PPB Level Mitap Keep sampling Refill & washed*2 PPB Level Mitap Keep sampling

圖7、MAU IPA/Acetone飽和測試實驗計畫圖

現行氣化課所提供的XCDA是經由壓縮機將空氣壓縮10倍至純化器後供應給機台，主要作為機台端除塵氣體。實驗二
將目前的XCDA導入CHAD AMC Monitor儀器GC/MS後所得的IPA/Acetone數據與廠區現行使用活性碳濾網防護的無塵室

數據作比較，可得知純化器(分子篩)可提供的IPA/Acetone等級，如 圖8所示。

AS is CUP FAB RF
2
CDA(9kg/cm )
TOC<1ug/m3 22 ℃,43%
CQC
250A 1500A
HCDA Receiver
Compressor Tank Dryer Purifier MAU CR GC/MS
分子篩
壓縮空氣 穩壓 去水 純 化 調節溫溼度

圖8、XCDA導入MAU實驗計劃圖

實驗三則是於既有無隔間廠區IPA/Acetone敏感製程區增加隔間及緩衝區後觀察其前後IPA/Acetone濃度變化，如 圖
9所示，可進而確認隔間牆是有效阻絕及穩定濃度之可能。

1 2 3 4 5 6 7 8

11 12 13 14 15 16 17 18

21 22 23 24 25 26 27 28

31 32 33 34 35 36 37 38

41 42 43 44 45 46 47 48