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圖1、受AMC汙染的Lens產生霧化現象 53 54 55 56
圖2、Lens霧化，影響製程良率
FFU 全區濾網更換
濾網更換
機台濾網更換
約1.5Hr
AMC 異常 值班 確認SCADA SCADA AMC Y 狀況解除
OOW/OOC 位置及數值 通知相關單位 鎖點測量 是否回復B/L 持續觀察
簡訊發送
約0.1Hr
N
現場以portable 通知相關單位進行
現場查漏
尋找漏源 機台異常排除
約1Hr 約1Hr
圖3、未導入AMC濃度分布圖前，AMC異常時需耗費人力進行現場漏源巡檢以及全區濾網更換
2. 文獻探討
回溯過去，供應給黃光區機台內Scanner Lens的潔淨空氣，若含有雜質及有機物則會在Lens表面上產生結晶，當惡化
到一定程度時需以特殊藥水清潔Lens表面結晶，但如果供應給Lens的氣體持續受汙染只能進行更換，且更換價格昂貴，造
成鉅額損失 。為確保導入Scanner機台內的潔淨空氣不受AMC影響，早期設計經由廠務系統CAS(Clean Air Supply)經由
[1]
ACC(Air Control Cabinet)直接供應MA(Makeup Air)進入Scanner機台內 。ACC主要為控制溫度供應給Scanner之單元設
[2]
備，如 圖4所示，位於Clean Room 2F Sub-FAB。在CAS system風管出口端設置AMC採樣點即可監控下游端進入機台內
AMC濃度現況 ，如 圖5所示。但是CAS供應給Scanner Lens的潔淨空氣容易受CAS停機及外氣條件變化影響供應溫濕度
[3]
、及AMC等現象，故後期廠務淘汰CAS供應方式，改在ACC前端設置Local Filter，環境空氣先經由Local Filter後再進入
ACC內的Charcoal Filter兩道關卡後，提供乾淨空氣再進入Lens內。機台環境MA經由Local Filter後經由ACC供應至機台內
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