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Tech 57 58
Notes
技術專文
圖2、ECP動線自動門管制 圖3、ECP新增隔間牆與buffer room
B、壓力
a、FFU轉速調整 b、MA風管改管
FFU轉速係無塵室壓力之重要因素，為建立CWR之 為解決CWR L35正壓問題，需對MA風管進行改管
相對負壓，須將ECP FFU轉速加載而增壓，CWR則反 ，將原先CWR之MA風管改管至ECP，讓ECP L35增壓
之 ; 透過壓力梯度之建立，讓風不僅縱向流動，亦達成 、CWR L35降壓，透過一增一減之方式達成天花板上
橫向流動之效果。 下皆「負壓」之病房，如 圖4所示。
儘管透過FFU加減載，在L30達成CWR對ECP之相
c、CWR新增環境抽氣
對負壓，卻讓CWR L35相對ECP正壓，使得負壓病房出
透過增加環境抽氣可降低相對壓力。本案立中，
現破口，逸散汙染物至其他區域。
我們於CWR區L35增加一管環境抽氣，減少CWR L35
另外我們將ECP與CWR交界處之FFU加載，透過風
的相對壓力，達到相對ECP負壓的結果。
速大且穩定的氣流來製作air curtain，更降低了汙染源
逸散的可能。
圖4、ECP 壓力改善措施示意圖
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