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                                                                                                   技術專文
 4.  結果與分析
 4.1.  機台周邊IPA濃度變化
 透過加大機台端Mini-exhaust管徑及新增高架地板下
 PVC curtain，成功降低機台附近逸散至環境的IPA濃度。
 圖5為CWR機台的改善結果，在改善前，以MiTAP量測機
                                              圖8、ECP與CWR IPA濃度空間分布圖
 台旁濃度皆偏高，對環境有嚴重的影響。進行改善後濃度
 減少93%的污染逸散，呈現極為明顯的下降，而機台後端
           影響，即使CWR開始run貨IPA濃度上升，ECP仍可保持在
 及L/P等非IPA排放管附近IPA讀值相對低的地方，於改善
           Baseline。
 後也有5%~30%的下降，整體而言，透過此方法有效的將
 IPA逸散降低直接性的從源頭將污染源減量。
           5.  結論
               透過源頭減量及類負壓病房建立，F18P2成功將IPA污
           染留在CWR內，避免影響ECP的AMC品質。透過將
           exhaust改管及機台周邊curtain防護，更有效率的將mini-
           exhaust的效果提升，減少對環境的影響，機台端IPA濃度
           有效降低93%，同時將GEX改管為VEX可減少屋頂的IPA排
           放，亦減少源頭的外氣污染。
               透過加強氣密、調整FFU轉速及新增L35環境抽氣，
 4.3.  ECP區域IPA防護
           成功將CWR L30及L35皆相對ECP負壓，L30 ECP對CWR
 透過ECP的正壓建立，避免影響旁邊的ECP。如 圖7  之正壓約10Pa ，L35 ECP對CWR之壓力由負轉正，成功將
 為ECP&CWR區IPA濃度變化，以ECP現行baseline作為標  IPA封鎖於CWR之內，即便CWR因run貨而造成IPA明顯提
 準將IPA濃度進行比值換算。  升的同時，ECP區並未因此而被污染。
 4.2.  ECP區域正壓維持  12月初時IPA受CWR影響濃度為baseline約5~8倍，開  藉由各種方法，F18P2成功守住ECP區，藉由此次的
 始建立各種防禦措施後IPA濃度開始下降，成功將濃度降  經驗與挑戰成功提供良好的AMC供應品質，並期許借鑑這
 透過氣密與壓力的改善，建立完善的CWR負壓病房。  些經驗，朝向AMC零污染之願景邁進。
 到baseline，並達到母廠的標準。同時看CWR區域之IPA
 三樓壓力的部分，在FFU調整之下，調整前ECP與
 濃度變化，可以發現即使在1月後CWR開始大量排放後IPA
 CWR兩者相差無幾，ECP壓力僅大於CWR 1pa，將ECP
 逐漸升高並且有較大的變化量，但是ECP IPA持續保持在  參考文獻
 FFU加載後，ECP對CWR之正壓約10Pa，導入壓力梯度力
 baseline，成功透過將IPA污染封鎖在CWR區域，為ECP量
 之概念:      [1]    施惠雅、李壽南、顏紹儀、呂建豪，「微污染控制之成功案例」
 產之AMC穩定性提供不可或缺的貢獻。  ，工業技術研究院能源與環境研究所。
           [2]    Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd, FC-3100 Series Operation
               Manual, 2006.
           [3]    Carl Woods, James P. Garcia, John de Larios, MENISCUS,
               VACUUM, IPA VAPOR, DRYING MANFOLD. United States
 壓力差∂p由1pa增加至10pa，兩者的梯度力也增加10  Patent 7198055, 2007.
 倍之多，為L30建立起堅實的防護牆。  [4]    Wet benches.net, http://wetbenches.net/wet
               benches_002.htm, 2013.
 在FFU加載的同時建立了L30的正壓，但是卻因L35抽  [5]    Shih-Cheng Hu, Andy Chang, Angus Shiue, Ti Lin, Song-Dun
               Liao, Adsorption characteristics and kinetics of organic
 氣量增加造成鄭壓防護牆失守，於是透過增加MA風量進
               airborne contamination for the chemical filters used in the
 行防護，於L35同步建立負壓防護。MA風管改管前，ECP  fan-filter unit (FFU) of a cleanroom, Journal of the Taiwan
               Institute of Chemical Engineers, Volume 75, 2017, Pages
 與CWR壓力差為負值，進行MA改管及風量補充後，壓力  87-96.
 差增加約8pa，也建立起L35 ECP相對CWR正壓的防護，  [6]    行政院勞工微員會勞工安全衛生研究所，「負壓隔離病房微粒擴
               散模式及設計參數改良研究」，2009。
 導入壓力梯度力的概念，L35增加MA風量使∂p由負號變
 為正號，正負號之轉換意味風壓方向之變化，故而原本風
 向為CWR至ECP，MA增量後改由ECP至CWR，成功建立  圖8為ECP、CWR區域2019年12月中、2019年12月底
 負壓病房阻止IPA之擴散，整體改善如 圖6所示。  與2020年2月IPA濃度空間分布圖，可以很明顯的發現初期
 ECP受CWR影響，隨者各種措施的改善，ECP不再受CWR



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