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範，本研究也著手將其引進無塵室內： VOC燃燒後排放出大氣中。可降低GEX排放至大氣中IPA 55 56 57 58
濃度，並且可達到專管專用避免造成空污問題。
A、氣密程度
為了加大抽氣效果，同時將環排管徑由8吋管改為12
負壓病房的建立中，門縫及隔間的氣密程度皆與負壓
吋管，增加環境排氣的抽氣量，減少IPA機台端對環境的
的建立有密切關係，縫隙皆必須小於一定值才能達到足夠
影響。
的負壓，在無塵室實務中，無塵室內必須保持與外氣的絕
• 機台周邊curtain防護
對正壓，在本研究所建立的類負壓病房為與周圍其他製程
區的相對負壓，透過氣密程度的加強與改善，直接的隔絕 為了進一步提高還排抽氣效率，本研究將機台下方使
兩區污染物互通，減少污染物直接擴散造成的污染。 用PVC curtain包圍，集中機台溢散出IPA氣體，縮小AMC
溢散空間，避免影響到鄰近環境，可使Exhaust排氣效率
B、負壓大小
提升。
負壓病房中需建立足夠負壓確保病原體無外洩疑慮，
整體防護如 圖1所示，透過加大抽氣管徑，並同時利
在台灣的規範中負壓病房需與環境有8Pa負壓值，本次研
用curtain將污染物集中，預期可減少IPA的逸散量，達到
究則透過以下方法來建立CWR與周圍環境的相對負壓：
汙染源頭減量的目的。
a、CWR正壓減少
無塵室內環境供氣主要由MA進行供應，減少CWR
區域MA供應量，可有效降低CWR區域的正壓，同時亦
增加CWR區域環境抽氣量，進一步減少區域正壓大小
。
b、周邊環境提高正壓
透過將周邊環境供氣量提高，提高周圍壓力，確
保與CWR有足夠壓力差，建立足夠的壓力梯度力確保
於氣密之縫隙處的風向為周圍至CWR，避免污染物外
洩。
1
a = ― —
其中 a=氣流加速度
=空氣密度
=氣壓 圖1、機台周邊curtain防護示意圖及現場照片
3. 研究方法 3.2. 廠務端–類負壓病房建立
3.1. 設備端–逸散減量 A、氣密
a、ECP氣密改善
本研究的目的是為了解決Wafer recycle機台在運轉時
使用大量IPA清洗控制片後，仍有殘留的IPA透過機台外罩 建立完善的氣密空間是負壓病房的關鍵，透過以
氣密性較差的區域外漏，造成無塵室內AMC污染，為減少 下的手法來達成 :
污染源的逸散提出改善機台環境排氣方法，藉由增加排氣 • L40-L35-L30-L20全區域氣密改善，改善建廠時期
系統抽風量及縮小機台污染物逸散範圍，進而優化局部空 缺失，並配合定期巡檢確保負壓病房無洩漏之虞。
間換氣量，進行源頭逸散減量。
• 動線上的自動門進行管制，僅在機台move in時開放
• Mini-exhaust改管 ，減少對外開口之機會，如 圖2。
Wafer recycle機台下方設有環境排氣，將原本使用 • 增設ECP, CWR隔間牆，在隔間牆與動線上自動門之
GEX一般排氣風管，將溢散在外的IPA排至非無塵室外，
間形成Buffer room，減少受汙染源影響之疑慮，如
變更為使用VEX有機排氣風管，專管將溢散的IPA氣體排至
圖3。
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