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4. 結果與分析 57 58 59 60
4.1. 機台周邊IPA濃度變化
透過加大機台端Mini-exhaust管徑及新增高架地板下
PVC curtain，成功降低機台附近逸散至環境的IPA濃度。
圖5為CWR機台的改善結果，在改善前，以MiTAP量測機
台旁濃度皆偏高，對環境有嚴重的影響。進行改善後濃度
減少93%的污染逸散，呈現極為明顯的下降，而機台後端
影響，即使CWR開始run貨IPA濃度上升，ECP仍可保持在
及L/P等非IPA排放管附近IPA讀值相對低的地方，於改善
Baseline。
後也有5%~30%的下降，整體而言，透過此方法有效的將
IPA逸散降低直接性的從源頭將污染源減量。
5. 結論

透過源頭減量及類負壓病房建立，F18P2成功將IPA污
染留在CWR內，避免影響ECP的AMC品質。透過將
exhaust改管及機台周邊curtain防護，更有效率的將mini-
exhaust的效果提升，減少對環境的影響，機台端IPA濃度
有效降低93%，同時將GEX改管為VEX可減少屋頂的IPA排
圖6、ECP與CWR壓力改善變化圖
放，亦減少源頭的外氣污染。
透過加強氣密、調整FFU轉速及新增L35環境抽氣，
4.3. ECP區域IPA防護
成功將CWR L30及L35皆相對ECP負壓，L30 ECP對CWR
透過ECP的正壓建立，避免影響旁邊的ECP。如 圖7 之正壓約10Pa ，L35 ECP對CWR之壓力由負轉正，成功將
圖5、CWR機台IPA源頭改善結果 為ECP&CWR區IPA濃度變化，以ECP現行baseline作為標 IPA封鎖於CWR之內，即便CWR因run貨而造成IPA明顯提
準將IPA濃度進行比值換算。 升的同時，ECP區並未因此而被污染。
4.2. ECP區域正壓維持 12月初時IPA受CWR影響濃度為baseline約5~8倍，開 藉由各種方法，F18P2成功守住ECP區，藉由此次的
始建立各種防禦措施後IPA濃度開始下降，成功將濃度降 經驗與挑戰成功提供良好的AMC供應品質，並期許借鑑這
透過氣密與壓力的改善，建立完善的CWR負壓病房。 些經驗，朝向AMC零污染之願景邁進。
到baseline，並達到母廠的標準。同時看CWR區域之IPA
三樓壓力的部分，在FFU調整之下，調整前ECP與
濃度變化，可以發現即使在1月後CWR開始大量排放後IPA
CWR兩者相差無幾，ECP壓力僅大於CWR 1pa，將ECP
逐漸升高並且有較大的變化量，但是ECP IPA持續保持在 參考文獻
FFU加載後，ECP對CWR之正壓約10Pa，導入壓力梯度力
baseline，成功透過將IPA污染封鎖在CWR區域，為ECP量
之概念: [1] 施惠雅、李壽南、顏紹儀、呂建豪，「微污染控制之成功案例」
產之AMC穩定性提供不可或缺的貢獻。 ，工業技術研究院能源與環境研究所。
[2] Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd, FC-3100 Series Operation
1
a = ― — Manual, 2006.

[3] Carl Woods, James P. Garcia, John de Larios, MENISCUS,
VACUUM, IPA VAPOR, DRYING MANFOLD. United States
壓力差∂p由1pa增加至10pa，兩者的梯度力也增加10 Patent 7198055, 2007.
倍之多，為L30建立起堅實的防護牆。 [4] Wet benches.net, http://wetbenches.net/wet
benches_002.htm, 2013.
在FFU加載的同時建立了L30的正壓，但是卻因L35抽 [5] Shih-Cheng Hu, Andy Chang, Angus Shiue, Ti Lin, Song-Dun
Liao, Adsorption characteristics and kinetics of organic
氣量增加造成鄭壓防護牆失守，於是透過增加MA風量進
airborne contamination for the chemical filters used in the
行防護，於L35同步建立負壓防護。MA風管改管前，ECP fan-filter unit (FFU) of a cleanroom, Journal of the Taiwan
Institute of Chemical Engineers, Volume 75, 2017, Pages
與CWR壓力差為負值，進行MA改管及風量補充後，壓力 87-96.
差增加約8pa，也建立起L35 ECP相對CWR正壓的防護， [6] 行政院勞工微員會勞工安全衛生研究所，「負壓隔離病房微粒擴
散模式及設計參數改良研究」，2009。
導入壓力梯度力的概念，L35增加MA風量使∂p由負號變 圖7、CWR&ECP區IPA濃度變化
為正號，正負號之轉換意味風壓方向之變化，故而原本風
向為CWR至ECP，MA增量後改由ECP至CWR，成功建立 圖8為ECP、CWR區域2019年12月中、2019年12月底
負壓病房阻止IPA之擴散，整體改善如 圖6所示。 與2020年2月IPA濃度空間分布圖，可以很明顯的發現初期
ECP受CWR影響，隨者各種措施的改善，ECP不再受CWR

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