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40% 55 56 57 58
35%
30%
25%
20%
10%
0% 受影響區域一改善後
75%
60%
45%
30%
15%
IPA洩漏區改善工程
0%
70%
60%
50%
40%
30%
20%
10%
受影響區域二改善後
0%
圖10、後段改善後各區域IPA Trend Chart
表4、後段改善後效益統整表
Area 改善前 改善後
OOS/C OOW Filter cost(年) IPA Baseline OOS/C OOW Filter cost(年) IPA Baseline
IPA逸散區域 2 3 - 100% 0 0 - 30%
受影響區域一 0 6 100% 100% 0 0 77% 23%
受影響區域二 1 22 100% 100% 0 0 61% 30%
效益
Area Alarm reduce Filter cost reduce(年) IPA reduce
% 減少次數
IPA逸散區域 100% 5 - 70% 區域一 IPA逸散區域 區域二
受影響區域一 100% 6 23% 77%
受影響區域二 100% 23 39% 70% 相對區域圖示
5. 結論 濃度，除了手動量測以外，依據OI規定無塵室內每個獨立
區域(迴風區)需設置一個採樣點代表該區的AMC濃度，才
影響無塵室內的AMC濃度的原因有許多種且看不到也
能確保環境的穩定與否，且在執行改善專案時才能監測無
摸不到，需透過系統化的調查才能有效率的找出問題，面
塵室的AMC濃度變化，並隨時調整改善策略。
對常發生的污染問題需建立預防SOP才能減少相同或類似
AMC來源的分析與防治建議未來發展總結為以下幾個
的事件再次發生；但面對首次發生的問題需花費大量的人
方向：①發展電子化系統(如製成原料、機台、管路)，並
力及時間佈點採樣，因此熟知每個區域會使用的化學品是
與化學品流通資料庫結合。②設計適用於無塵室環境AMC
相當重要的課題，上述兩項案例對於A廠區濾網總花費共
巡檢機器人加強巡檢並建立AMC濃度地圖。③發展無塵室
減少49%/年，並可藉由此經驗傳承在新廠區有相關製程時
氣流模擬系統，減少搜尋時間。④設計廠區時將髒區及高
可在運轉前進行改善，直接減少濾網花費。
敏感區域分隔，雖然可能造成OHT系統移動時間，但可減
廠內發生AMC污染時需執行的三大步驟 : ①搜尋污染
少大量的濾網更換費用。
源，②防堵(關閉)污染源，③設備改善(包覆、氣密及抽氣)
，其中80%的時間消耗在搜尋上面，有效減少搜尋時間除
了經驗以外還需要藉由可靠的設備，如廠務的AMC量測設
備(PID、Mitap、Picarro)，因此量測儀器的穩定度及偵測
極限是查尋漏源的關鍵。
完整的微污染控制策略需要隨時監控無塵室內AMC的
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