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Tech 59 60
Notes
技術專文
Out side air
2017/06/07 2017/07/12 2017/09/12
A3 2017/05/02 更換濾網 更換濾網 更換濾網
更換濾網 2017/06/23 2017/08/02
更換濾網 更換濾網 2017/09/20
更換濾網
2017/01/03
更換濾網
2017/09/01 2017/09/29
更換濾網 更換濾網
2017/01/03~2017/05/02 2017/05/02~2017/09/29
2017/06/08 2017/08/02 2017/09/21
B3 更換濾網 更換濾網 更換濾網
2017/06/22
更換濾網
2018/01/23
更換濾網
2016/12/29 (Routine)
更換濾網
(Routine)
2017/07/12
更換濾網
2016/12/29~2017/05/31 2017/09/29~2018/01/23
2017/06/01~2017/09/29

圖1、外氣丙酮對各製程區域(A3及B3)環境影響

Out side air

A2
2017/07/22 2017/08/02 2017/09/22
2017/06/02 更換濾網 更換濾網 更換濾網
更換濾網

2017/09/01
更換濾網

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