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TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED 57 58 59 60
VOL.39
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
空污對微污染影響的探討與防禦
Research and Defense of Air Pollution Impact on AMC
文│王威凱│中科廠務一部│
關鍵詞 / Keywords 摘要
外氣污染源 / Outside Air Pollution Sources 隨著半導體導線線徑的縮減及製程發展的演進，氣態分子污染物
丙酮 / Acetone (AMC)的管制及監控方式也更受重視，面臨微污染物威脅，必須要有完
異丙醇 / IPA 整監測系統搭配防治計畫，除了無塵室環境內機台或者是人為污染管控
外，外氣污染也是相當大的考驗，目前大部分的污染源都是外氣所造成
，若能降低空污對無塵室微污染的影響，則可以降低更換濾網的成本。
本研究比對多方面空污數據，進行水樣及氣樣採樣，找出污染源根本原
因，從提供運轉設備供應水源進行去除，並架設器材進行模擬實驗，達
到去除有機物染物異丙醇效率高達91.2%。
1. 前言 2. 文獻探討
本文主要探討外氣有機污染物的影響， 2.1. 化學濾網吸附機制
廠區長期受到外氣有機污染物–丙酮(Acetone)
化學濾網吸附介質表面將吸附物捕捉到物質表面的過程稱為吸附，
所困擾，在5~10月夏季吹西南風時更為嚴重
是一種發生在氣態–固態介面的濃縮過程，類似蒸氣冷凝的現象。氣體
，因此許多製程區域需要經常更換天花板型
吸附於多孔材料的過程可簡單分成以下步驟，如 圖3所示 。
[1]
化學濾網，才能避免無塵室環境AMC受到影
響。2017年外氣丙酮影響較為嚴重，造成本
2.2. 影響化學濾網吸附因素
廠區多處製程區域Out of warning(OOW)共
16次，如 圖1 圖2所示為各區域受到外氣丙酮 吸附現象分為數個物理及化學現象平衡之結果，主要影響因素 :
影響，因此更換了22次天花板濾網，造成相
• 溫度：不論物理吸附或是化學吸附均可以發現能量平衡為吸附發生的
當大的濾網費用。為了找出外氣的丙酮污染
主要因素，因此作為氣體動能來源的溫度便為吸附的主要因素之一。物
源，不斷地採樣及進行數據分析，比對風速
理吸附於低溫容易進行，原因為幾乎無須活化能，僅需吸附介質表面凡
、風向及廠區頂樓廠務運轉設備狀況，然而
德瓦力即可使其穩定吸附於表面上。而在高溫環境下，吸附物容易跨過
找出可能的污染源。
王威凱 W.K Wang
2012年，台北科技大學能源系畢業。2014年，中央大學機械所熱流組畢業。2015年~迄今，台積電。
專長：冷凍空調、AMC空氣污染防制。
證照：工業儀器乙級。
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