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A1 Noise 59 60
C2
圖2、外氣丙酮對各製程區域(A1、A2、C2)環境影響
Step 1 : Diffusion to Step 2 : Migration into Step 3 : Monolayer
Adsorbent Surface Pores of Adsorbent Buildup of Adsorbate
Contaminant Molecules
1、氣體分子從大氣中擴散(diffusion)至吸附介質的外表面或孔洞外部。
2、氣體分子進入孔洞內部，並隨機吸附於吸附介質表面上。
3、吸附於表面氣體分子之進行表面擴散至更深層之內孔洞表面。
圖3、吸附步驟圖解 [1]
吸附活化能而達到化學吸附，因此高溫有助於化學吸附。 2.3. 丙酮(Acetone)
• 壓力：由於吸附現象發生的第一步即為高濃度之分壓擴
為低沸點揮發性有機物，沸點56°C，分子式為
散至低濃度之分壓擴散，因此壓力增加有助於吸附物擴散
CH3COCH3，莫爾質量58.08g/mol與異丙醇(IPA)較為接
至表面直到飽和為止。
近，異丙醇莫爾質量60.1g/mol。在半導體廠中，因製程常
• 表面積：吸附為表面現象，因此表面積增加有助於吸附 需要使用異丙醇或丙酮等有機揮發物去做清潔，因此在無
發生。 塵室會裝設化學濾網來移除過高濃度之有機揮發物，避免
污染製程。
• 沸點：物理吸附能量約為吸附物的凝結焓，因此沸點越
丙酮含有羰基官能基，包含C=O分子團，這分子團因
高物質越容易吸附。
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