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Tech 73 74
Notes
技術專文
NTCC及SMOC的皆為申請變更時需審查的流程，為
TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED
VOL.40 避免申請人混淆無法正確選擇審查之項目，其判斷申請變
廠務季刊 更時選擇NTCC或SMOC之標準，依種類區分兩種 : ①機台
變更 ②化學品變更。透過 圖3-1 圖3-2，可簡單說明，申
URL.http://nfjournal/ 請SMOC即代表此機台或化學品在任一廠區已使用過，依
Change流程，亦需提出SMOC進行審核。NTCC即申請物
質或機台尚未在任一廠區使用，因此使用前必須要考量其
先進製程設備機台廢酸排放站前管理 使用的風險性、危害性等，因此此類物質或機台則必須提
Management of Waste Chemical from Advanced Process Equipment 出NTCC申請進行審核。
2. 文獻探討
文│陳政揚│竹科廠務五部│
依前言所提，本篇將分兩大主題進行探討管理層面和
關鍵詞 / Keywords 摘要 廠務系統強化。
廢酸混排 / Waste Chemical Mixing Emission 半導體先進製程不斷演進，化學品使用越多元，相對設備機台排 2.1 管理層面
Safety Management Of Change / SMOC 放的廢酸越複雜，發生混排的機會越高。本篇研究針對設備廢酸站前 廠區如有新製程使用或機台相關設備變更前皆須申請
5. 結論 15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化 New Tool & Chemical Committee / NTCC 排放區分兩大主題 : ①管理層面 ②廠務系統強化，並以某先進製程廠 SMOC或NTCC進行審查，以下介紹SMOC及NTCC定義及
學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目 廢液系統 / Waste Chemical System 廢液IPA含酸為例，裝機前NTCC及SMOC審查過程中，深入了解化學
經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學 其流程。
前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學 品使用過程、混用狀況及廢酸的混排現象，有別於一般管路選材
品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成， SUS304，成功的提早部屬廠務廢液系統從Submain、WLS、廢液桶 2.1.1 SMOC(Safety Management Of Change)
裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望 槽到WCB皆為抗腐蝕材質避免酸腐蝕造成系統損壞。未來，廢酸混
智慧結晶。整理如下： SMOC其管理目的為任何化學品、管路、設備零組件
有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功 排比例只會越來越多，廠務系統強身健體會是未來的重點，思考如何
① 系統安裝： 於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解 在兼具成本與利益的比例原則下達到系統升級百毒不侵的能力將會未 等工程變更，或行為操作模式的改變，都可能產生未預期
• 與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。 來最重要的課題。 的安全、衛生及環境的危害。SMOC著眼於變更可能產生
期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未 的相關安全、衛生和環境衝擊，在變更前先經過徹底評估
• DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm ，做必要之修正，再經由簽核後交付執行；對於變更後收
知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流
• 對照式sensor安裝 系統。 1. 前言 潛在危害影響之人員須進行良好溝通，並實施必要之教育
訓練，以降低變更的風險。
• 帶狀式leak sensor
隨著半導體先進製程不斷的發展，使用的化學品也越 Tool & Chemical Committee)會議到排放後的回收處理單 SMOC申請流程，如 圖2所示，當中包含6大關鍵點 :
• manual port自動門安裝 參考文獻
多元，設備機台排放的製程廢液相較於N16/10相比，N5/ 位廢棄物資源管理課(LWM)的評估，探討如何進行層層把 ①填寫變更種類 ②變更前檢查項目 ③啟動前檢查項目 ④
② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問 [1] 呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園 N3變得更加的複雜。因此易發生設備機台廢酸混排問題， 關，讓設備機台使用化學品能排的放心廠務能收的安心。 ISEP Preview項目 ⑤申請後逾期變更review機制 ⑥ISEP/
。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
題，及早調整。 gTm.htm 造成管路酸蝕洩漏狀況發生。以某先進製程廠案例，異丙 ②廠務系統強化 : 以某先進製程廠IPA SUS不鏽鋼腐蝕為例 LWM簽核流程，透過層層把關達到變更後穩定安全之狀態
[2] 自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。 ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。 醇(Isopropanol，以下簡稱IPA)廢液，部分機台檢測結果 ，針對未來新廠IPA排放含酸廢液管材的選用進行探討及利 。
[3] 智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES 為酸性(pH=2)，若按以往管路選材經驗選用SUS不鏽鋼管 用風險評估(Risk Assessment，以下簡稱RA)手法，分析現
• 運轉資訊不足 : 建立運轉KPI 企劃2013。 2.1.2 NTCC(New Tool and New Chemical Review
路，將會造成管路遭腐蝕穿孔洩漏情況，如 圖1所示，因 有廢液系統中還有哪些地方可進行強化及如何在設備機台
• 定位sensor調整÷提早於試車階段驗證 此必須要選用耐酸鹼的材質進行配管。 排放前提早知曉異常排放。 Committee)
• 定位sensor誤作動÷增加集光罩 有鑑於此，本篇研究針對設備廢酸站前排放區分兩大 定義為廠內使用之新機台及新化學品。新機台指台積
主題 : ①管理層面：依據新製程/新機台使用前審查流程 電全公司首次啟用、操作之新製程設備機台，量測機台、
• DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪
SMOC(Safety Management Of Change)、NTCC(New 機台端尾氣處理設備(Local Scrubber)與台積電未曾使用過
• 棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時
該機型之二手機台。新化學品指台積電全公司首次運作的
• ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報 化學品，包括以固態、液態、氣態存在，任何具有健康、
，提醒管理者已進入半自動操作 陳政揚 Young Chen 環境或物理性危害之化學元素、化合物或混合物；及與公
國立台北科技大學化學工程與生醫工程研究所畢業。
中鼎工程儀控設計部、F12P6廠務氣化課。 司原用化學物質之新比例混合物且GHS危害等級提高等。
山不轉路轉，路不轉心轉；凡事都有方法解決眼前的問題與挑戰。

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