Page 85 - Vol.40
P. 85

54
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              55
 52
                                                                                                                53
 51


 62


                                                                                                                                          64
                                                                                                                63
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              65
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        66
 61

















 72
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        76


 71
                                                                       NTCC及SMOC的皆為申請變更時需審查的流程，為               73                         74                                                                                                                                                                                                                                 75                         56
                                                                   避免申請人混淆無法正確選擇審查之項目，其判斷申請變
                                                                   更時選擇NTCC或SMOC之標準，依種類區分兩種 : ①機台
                                                                   變更 ②化學品變更。透過 圖3-1 圖3-2，可簡單說明，申
                                                                   請SMOC即代表此機台或化學品在任一廠區已使用過，依
                                                                   Change流程，亦需提出SMOC進行審核。NTCC即申請物
                                                                   質或機台尚未在任一廠區使用，因此使用前必須要考量其
                                                                   使用的風險性、危害性等，因此此類物質或機台則必須提
                                                                   出NTCC申請進行審核。
                             圖1、SUS304不鏽鋼管腐蝕情況
                 2.  文獻探討                                                ①
                                                                         SMOC提出申請
                     依前言所提，本篇將分兩大主題進行探討管理層面和                             ②
                                                                         填寫變更種類&基本資料
                 廠務系統強化。                                                                            NO
                                                                                               ④
                                                                         填寫變更前檢查項目               ISEP Preview
                 2.1  管理層面
                                                                                               ⑥
                                                                                      NO
                     廠區如有新製程使用或機台相關設備變更前皆須申請                             ③                       各主管簽核
 5.  結論  15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化
                 SMOC或NTCC進行審查，以下介紹SMOC及NTCC定義及                          填寫啟動前檢查
 學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目                                          NO      ⑤                       NO
 經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學  其流程。
 前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學                                                  於期限內結案              各主管簽核        結案
 品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
 品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，  2.1.1  SMOC(Safety Management Of Change)
 裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
 仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望                                                     圖2、現行SMOC審查流程
 智慧結晶。整理如下：          SMOC其管理目的為任何化學品、管路、設備零組件
 有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功
 ① 系統安裝：  於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解  等工程變更，或行為操作模式的改變，都可能產生未預期                                        Y
   •  與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min  ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。  的安全、衛生及環境的危害。SMOC著眼於變更可能產生  設備機台  此型號是否為初次使用  NTCC
                                                                                                         SMOC
 期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未  的相關安全、衛生和環境衝擊，在變更前先經過徹底評估                                                 N
   •  DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm  ，做必要之修正，再經由簽核後交付執行；對於變更後收                                      Y  NTCC
 知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流                                             HPM使用機台       此型號是否為初次使用
   •  對照式sensor安裝  系統。  1.  前言  潛在危害影響之人員須進行良好溝通，並實施必要之教育                                             N  SMOC
                 訓練，以降低變更的風險。                                                                         Y  NTCC
   •  帶狀式leak sensor                                                     廠務系統        使否為Local Scrubber
 隨著半導體先進製程不斷的發展，使用的化學品也越  Tool & Chemical Committee)會議到排放後的回收處理單  SMOC申請流程，如 圖2所示，當中包含6大關鍵點 :         N  SMOC
   •  manual port自動門安裝  參考文獻
 多元，設備機台排放的製程廢液相較於N16/10相比，N5/   位廢棄物資源管理課(LWM)的評估，探討如何進行層層把  ①填寫變更種類 ②變更前檢查項目 ③啟動前檢查項目 ④
 ② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問  [1]    呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園  N3變得更加的複雜。因此易發生設備機台廢酸混排問題，  關，讓設備機台使用化學品能排的放心廠務能收的安心。  ISEP Preview項目 ⑤申請後逾期變更review機制 ⑥ISEP/   圖3-1、申請SMOC與NTCC判斷標準(機台)
 。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
 題，及早調整。  gTm.htm  造成管路酸蝕洩漏狀況發生。以某先進製程廠案例，異丙  ②廠務系統強化 : 以某先進製程廠IPA SUS不鏽鋼腐蝕為例  LWM簽核流程，透過層層把關達到變更後穩定安全之狀態
 [2]    自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
 ③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。  ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。  醇(Isopropanol，以下簡稱IPA)廢液，部分機台檢測結果  ，針對未來新廠IPA排放含酸廢液管材的選用進行探討及利  。  Y  SMOC
 [3]    智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES  為酸性(pH=2)，若按以往管路選材經驗選用SUS不鏽鋼管  用風險評估(Risk Assessment，以下簡稱RA)手法，分析現  純物質  任一廠區已使用
   •  運轉資訊不足 : 建立運轉KPI  企劃2013。  2.1.2  NTCC(New Tool and New Chemical Review           N  NTCC
 路，將會造成管路遭腐蝕穿孔洩漏情況，如 圖1所示，因  有廢液系統中還有哪些地方可進行強化及如何在設備機台                                     成分相同，濃度變更，
   •  定位sensor調整÷提早於試車階段驗證  此必須要選用耐酸鹼的材質進行配管。  排放前提早知曉異常排放。  Committee)                 Y  GHS危害等級提高        NTCC
                                                                     混合物    任一廠區已使用        成分相同，濃度變更，
   •  定位sensor誤作動÷增加集光罩  有鑑於此，本篇研究針對設備廢酸站前排放區分兩大  定義為廠內使用之新機台及新化學品。新機台指台積                  GHS危害等級未提高       SMOC
 主題 : ①管理層面：依據新製程/新機台使用前審查流程  電全公司首次啟用、操作之新製程設備機台，量測機台、
   •  DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪                                                                  成分相同，變更產地        SMOC
 SMOC(Safety Management Of Change)、NTCC(New   機台端尾氣處理設備(Local Scrubber)與台積電未曾使用過           2  source評估      SMOC
                                                                                            nd
   •  棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時                                                                      變更化學品名           SMOC
                 該機型之二手機台。新化學品指台積電全公司首次運作的                                              N
   •  ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報  化學品，包括以固態、液態、氣態存在，任何具有健康、                               添加新成分            NTCC
 ，提醒管理者已進入半自動操作  環境或物理性危害之化學元素、化合物或混合物；及與公
                                                                           圖3-2、申請SMOC與NTCC判斷標準(化學品)
                 司原用化學物質之新比例混合物且GHS危害等級提高等。
 81  82                                                                                      FACILITY JOURNAL          1 2   2 0 2 0  83  84                                                                                                                                                                                                                                 85                         86











































































































 91  92                                                                                                        93                         94                                                                                                                                                                                                                                 95                         96
   80   81   82   83   84   85   86   87   88   89   90