Page 104 - Vol.43
P. 104
Tech
Notes
技術專文
表4、廠務系統各Utility SPC管制辦法
④ EC(Equipment Constant)System : FAB機台符合 PLC(Programmable Logic Controller)、HMI(Human–
SECS(SEMI Equipment Communications Standard) [10] computer Interaction)，在過往成本考量下，引用Local廠
下，皆有標準來傳遞資料如警報、參數、Status或是 商居多，至在管理上的設定並無標準，過往也有因為參數
控制。所以這些資料在經過CIM(Computer-Integrated 的設定不加而導致系統異常MRB(Material Review Board)
Manufacturing)，可經過合適的SPC計算來判斷參數是 的Case。目前將導入FAB EC系統並將既有12廠及18廠的
否合適、及下貨前比對，來確定每一片Wafer的生產品 PRS(Process Release System)系統的資料分三階段來導入
質。廠務除了DCS(Distributed Control System)有此標 EC，並亦納入開門10件事系統來控管。目前已納入F12開
準，包含參數、警報設定、及權限管理，有標準外，其 門10件事系統的EC，如 圖15。而最優化及最終版EC則將
餘SCADA(Supervisory Control and Data Acquisition)、 執行至Y2022。
102
