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技術專文

表3、新版FMEA SOD
S O D AP S O D AP S O D AP S O D AP
7-10 High Risk 7-10 High Risk 7-10 High Risk 7-10 Middle Risk
5-6 High Risk 5-6 High Risk 5-6 High Risk 5-6 Middle Risk
8-10 8-10 8-10 8-10
2-4 High Risk 2-4 High Risk 2-4 Middle Risk 2-4 Low Risk
1 High Risk 1 High Risk 1 Middle Risk 1 Low Risk
7-10 High Risk 7-10 High Risk 7-10 Middle Risk 7-10 Low Risk
5-6 High Risk 5-6 High Risk 5-6 Middle Risk 5-6 Low Risk
6-7 6-7 6-7 6-7
2-4 High Risk 2-4 High Risk 2-4 Middle Risk 2-4 Low Risk
1 High Risk 1 Middle Risk 1 Low Risk 1 Low Risk
9-10 7-10 High Risk 7-8 7-10 High Risk 4-6 7-10 Middle Risk 2-3 7-10 Low Risk
4-5 5-6 High Risk 4-5 5-6 Middle Risk 4-5 5-6 Low Risk 4-5 5-6 Low Risk
2-4 High Risk 2-4 Middle Risk 2-4 Low Risk 2-4 Low Risk
1 Middle Risk 1 Middle Risk 1 Low Risk 1 Low Risk
7-10 High Risk 7-10 Middle Risk 7-10 Low Risk 7-10 Low Risk
5-6 Middle Risk 5-6 Middle Risk 5-6 Low Risk 5-6 Low Risk
2-3 2-3 2-3 2-3
2-4 Low Risk 2-4 Low Risk 2-4 Low Risk 2-4 Low Risk
1 Low Risk 1 Low Risk 1 Low Risk 1 Low Risk
1 1-10 Low Risk 1 1-10 Low Risk 1 1-10 Low Risk 1 1-10 Low Risk
1 1-10 1-10 Low Risk
而日管運轉的PFMEA(Process FMEA)，也是同樣的模 樣，採用System Approach的方式，來達成管理目的，也
式，各系統單位皆須要有一版，不斷的PDCA、不斷的改 如同ISO9001國際管理準則一致，採用更多資料，基於事
善，讓系統運轉更有效率與永續發展，並且再回給饋給 實來管理。此四年Roadmap定出每年FMCS管理系統發展
DFMEA，也就是新廠設計部及新廠規劃部。 目標如下 :
② FMEA前的問題思考與解決，亦是使用WQED(tsmc品質 • Y2020目標 : 學習FAB系統基礎再造。
精進暨稽核部)所提出的3-Leg-5-Why Analysis、KT式 • Y2021目標 : 基礎再造/Data透通支持FAB。
理性思考法、8D等Problem Solving評估。評估後，變 • Y2022目標 : 標準化/FD與FAB Link。
更管理的審查，則亦須依照F-GQC-02-03-002(TSMC • Y2023目標 : 智能化、Digital twins。
FACILITY ENGINEERING CHANGE O.I.)，依據變更管
② All Chart SPC [09] 系統。目前廠務Chart的管理比照FAB管
理內容等級的分類，並經過QM(Quality Management)
理，經過Y2020深入學習之後，發現仍有以下需要改善的
Committee的審核，多人決策後才可以執行。
空間。
3.1.2 FMCS管理系統
• 現行平台較多 : 目前廠務端所使用的系統較多，
① 隨著台積電的規模發展不斷的跨大，並且也隨著摩爾 如：ICCI、OCAP、ATC及F-charter，雖平台特性
定律的發展，工廠的運作日趨精密，未來運作也日趨複 各有不同，故若可進行整合，將有利工程師執行
雜，包含需要永續的發展、少子化的問題，所以廠務的 日常管理，以提升效能，如 圖12所示。FAB Chart
FMCS發展也朝著更數位化、資料更通透至FAB、一致 分為SPC、ICCI、FDC平台；FAC則為SPC、ICCI、
性的品質系統、FAB/Facility鏈結更緊密、數位化描述 F-charter控管。All Chart SPC將所有SPC整合為一個
廠務。依照已上的目標，提出廠務品質管理系統發展藍 Dashboard(如 圖12)，此Dashboard可以在此全數處
圖(Roadmap)如 圖11。此系統也同樣如飛航安全系統一 理完所有Worse Chart，另外管理者可以從此單一窗

圖11、FMCS管理系統發展藍圖(Roadmap)

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