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•  EC Stage 01 : Y2021,F12及F18資料轉入EC,並執行        3.1.4  AI人工智慧
                     Data Scheme定義。
                                                                       人工智慧是用大量資料來找出系統運作規則與模型,而
                   •  EC Sage02 : Y2022,制訂EC管理OI,並著手納入其
                                                                   資料量越大,推論的結果也越趨精準。如 圖17是目前人工智
                     他廠區如F15、F14、F20、F21、F16、200mm廠區,
                                                                   慧擅長解決的問題的象限。
                     讓管理一致,Lesson Learnt不再發。
                                                                       樣本多少即是所謂資料量,情境相關則是指情境的觀測
                   •  EC Sage03 : Y2022,利用適當統計手法,將確定EC
                                                                   能力。在第一象限中資料的量大及所有資料皆被掌握,所以
                     的設定是否合適。
                                                                   是AI擅長得領域;第二象限,雖然是亦是影像居多,但是故
                                                                   障或是資料少,在準確度也不高;第三象限,則是因為情境
                                                                   的觀測能力尚未完整,所以準確度亦不高;第四象限,是AI
                                                                   最不擅長的部份,資料少而且情境的觀測能力非完整。
                                                                       而從上述分類可以知道資料量的多,與情境的掌握度
                                                                   高,則使用AI的應用成功機會大,而且由上述四象限可以知
                                                                                                           [11]
                                                                   道,影像相關人工智慧應用,在第一、二、三象限 。而單
                                                                   純影像辨識的錯誤率,2017時低於2.3%,已經超越於人類的
                                                                     [12]
                                                                   5% ,如 圖18。
                            圖15、開門10件事系統中的EC


                3.1.3  FAM/PM系統

                    FAM(Facility Asset Management),也與廠務物料管理系
                統結合。廠務系統的管理系統逐步導入FAB系統,而與FAB車
                同軌、書同文、形同倫,管理也逐步將廠務系統FAB化。FAB
                機台的SMP(Sigma Matching Platform),是以相同Tech. Node
                機台為單位,內部的PRS A From(硬體)/B Form(軟體)再來做
                Matching,Tech. Node機台就是TCP(Matching框架),PRS A
                From(硬體)/B Form(軟體)就是AEC(Detail),如此能夠做到大
                範圍的SMP與一致化的管理。而目前所設計的FMCS管理系
                統,也是依此概念,整個架構如 圖16。
                                                                             圖17、AI人工智慧擅長解決的問題





















                                                                    圖18、ImageNet大規模識別大賽(ILSVRC)冠軍的圖片物體
                                                                                      分辨錯誤率
                             圖16、FMCS管理系統架構








                                                                                             FACILITY JOURNAL        09  2021  103
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