Page 113 - Vol.43
P. 113
實際應用上，可以用電腦計算協助快速得知PR/MS/KS/
RSR等統計數據自身變異。在電力系統實務應用上，未來可
被有效運用在監測變化預警等實務品管手法，暫不在本文討
論範圍。
3. 研究方法
3.1 機台負載用電變動劇烈族群普查
圖7、盒鬚圖意義說明 許多機台在生產過程會隨著製程需求而有劇烈用電
變化，這類型機台必須特別整理讓工程師在設計排點規劃
盒鬚圖應用在用電量變異、用電預測、負載最佳分配及 (port assignment)時留意demand factor問題，避免過載跳
避免過載運轉風險等負載管理上有著顯著的價值。在廠區擴 電風險及達到最佳經濟效率安排。如 圖10特別整理出F15B在
充完畢進入穩定運轉階段時，盒鬚圖幾乎是在用電管理上最 N7製程之Top-20機台變動劇烈機台，在負載用電管理要特
[05]
常被可靠使用的應用手法 。 別注意。
舉例 圖11範例說明EUV機台劇烈用電變化圖，這會對負
2.6 未來F-Charter應用探討
載監視容易產生盲點，這是為什麼要普查用電劇烈變化機台
F-Charter對於將電力系統應用SPC統計分析是一種創新 族群原因。
的思維，對廠務用電數據進行大量收集觀察其趨勢、位置、
3.2 負載用電趨勢圖管理模式及實戰方法
散佈、形狀、平均值、中位數及標準差等，藉以區分出系統
的波動和異常，能早期追蹤預警電力系統用電的健康狀況， F15P5、P6用電量目前仍位居跨廠單一phase總用電量第
這將用電納入製程品管是項突破。如 圖8案例顯示UPS內部 一及第二名(如 圖12)，相關廠務系統及機台擴充所產生的高
電容器電流值趨勢改變可預警可能的元件故障。另一案例顯 電力負載運轉量及ramp up用電快速變化特性，如何做好全方
示on-line PD應用使用，如 圖9。 位完整管理思維，是利用上述探討手法非常適合的標的。
首先，談到電力負載管理最基本的數據管理就是收集運
轉資料累積成trend chart就可得知負載量趨勢，但是需注意
時域(time domain)問題，這攸關負載量的適當代表性與否。
舉例來說，機台持續裝機運轉會隨著時間負載量變大，trend
chart的時間軸是否已到具有實質代表的fully run才能呈現管理
上的正確判斷，有許多持續裝機的電盤隨著時間加載最後造
成過載跳脫的案例屢見不鮮，因次運轉量trend chart必須保有
「連續型 」觀察才不會失真，也就是時間軸是不能中斷的，
經驗上就是必須設計有on-line監視取代人工off-line抄表才能
達到管理目的。設計上，屬於擴充型而非固定負載型電盤就
不能沒有power SCADA real time用電監視的功能設計，這在
圖8、UPS電容電流使用PR1、PR5的預警
建廠階段必須一次到位，避免造成日後運轉風險。
利用F15B於2020/2/18發生的實際案例探討(如 圖13)，
P7A PPB因WET機台裝機擴充速度過快，例行現場電盤電流
抄錶無法因應負載量快速劇升而造成250A主開關過載跳脫，
影響9台WET機台Salix Local Scrubber斷電，造成機台exhaust
抽氣靜壓波動，prevention解法就是移轉負載及加裝on-line電
流監視連續監視，讓負載管理即時到位。
圖9、HV on-line PD PR3、PR4的預警
FACILITY JOURNAL 09 2021 111
