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表2、成廠驗收移交資訊分類
NO 移交資訊項目說明 資訊特質(Property) 對象(Whom) *註1 時機(When)
品質 進度 法規 訓練 提供者 接受者 負責人 之前(天) 成廠日 之後(天)
1 剩餘工作驗收 NFCD/VEN FAC CO -45D D +30D
2 環境清潔驗收 VEN FAC CO -45D D +30D
3 缺失開立改善驗收 NFCD FAC CO -45D D +30D
4 System readiness NFCD FAC CO -45D D -
5 Smart copy NFCD/VEN FAC CO -45D D ~Now
6 變更評估/實施/確認 ORP NFP/FAC CO -90D D ~Now
*註1 : 新工處系統負責人 : NFCD。新工處系統承包商 : VEN。廠務運轉系統負責人: FAC。專案Corrdinator : CO。營運資源規劃部 : ORP。新廠規劃部 : NFP。

3.2 快速1-Sigma資訊管理方法 My chart的TCP Form與SPC chart相同，與SPC chart主要
差異在於Chart應用不同而Rule設定不相同，如 表4所示，自
廠務品質系統可區分為Chart/PM/Change/Alarm四
動報表流程圖同 圖7所示。
種Function，因此針對不同Function分別定義出各自的
TCP(Technical Control Plan)標準資料庫。 3.2.2 PM
3.2.1 Chart PM的TCP Form主要組成為資產、Check List、PMOI，以
資產為Key對應出相對應之Check List及PMOI，如 表5範例。
Chart Function可以再區分為SPC chart(iEDA/ICCI)及My
於PM工單建置初期，人員僅需要建置Asset AEC Form，Asset
chart(Auto trend chart/F-charter)，以SPC chart的TCP form
AEC data由廠區/Phase/Section/系統/子系統/設備類型說明
由Equipment/item definition、Control rule、Chart rule所
/Asset Type/補充說明，AEC資料建立後根據專家制定的TCP
組成，如 表3所示。
Group規則，系統會自動產出預防保養及設備群組工單報表，
由專家團隊依據TCP from制訂各Group的Rule，在建廠階
流程圖如 圖8所示。
段工程師依據TCP Group制訂之系統/子系統/量測位置類別/量
測項目/製程區建立AEC(Advanced Endpoint Control) Table，
AEC資料建立後根據專家制定的TCP Group規則，系統會自動
產出Chart報表，流程圖如 圖7所示。

表3、SPC chart TCP form
欄位代碼 欄位名稱 範例 欄位說明
Technology 技術節點 N7 NX表示全體適用
TagType 管制類型 General Key/General/Others/NonSPC
System 系統 SLY
SubSystem 子系統 SDS
EquipType 設備類別 W8700
DataSource 資料來源 FAC-INSQL FAC-INSQL/FAC-UCHART/
CHAD-INLINE/CHAD-OFFLINE/
i-COA/MQR-OFFLINE
SamplingPointType 量測位置類別 Supply 量測的位置
SamplingItem 量測項目 H2O2 量測的項目
MatchingLevel 差異管理層級 Tech Tech/FAB/Phase/NA
Target 目標值 1.8
USL/LSL 停線上下限 1.84/1.76 KeyNode必填
UCL/LCL 管制上限 1.825/1.775 管制界線輸入二擇一
Plus 管制上限+ ① 可直接輸入UCL/LCL
Minus 管制上限- ② 可輸入Target/Plus/Minus
Resolution 儀表解析度 0.005
EngUnit 量測單位 %
Digits 小數位數 3
DataFrequency 儀錶資料更新頻率 60 單位為分鐘
OOC OOC參數 Yes
OCAP OCAP參數 Form=FCQC0103001-130-1
OOB% OOB%參數 Percent=0.5
Mismatch Mismatch參數 Sigma=3
Shift Shift參數 Sigma=1.5 ; Traceback=3
RecordHiLo RecordHiLo參數 Sigma=1.5 ; Traceback=1
Zombie Zombie參數 Sample=144

FACILITY JOURNAL 09 2021 13