Page 16 - Vol.43

Tech
Notes
技術專文

表4、My chart TCP form
欄位代碼 欄位名稱 範例 欄位說明
Technology 技術節點 N5 NX表示全體適用
System 系統 UPW 對應FAM系統
Sub-system 子系統 LOOP1 對應FAM子系統
SamplingPointType 量測位置類別 Supply 量測的位置
Sampling Item 量測項目 Temperature 量測的項目
Area 製程區/廠牌/版次/設備類別
Tag Type 管制類型 G K : Key Node
G : General
O : Others
E : EQP
N : Non SPC
Description TCP描述說明
Target 目標值 1.8
Range Max Range 上下限 2 必填for chart build及InSQL建置
Min 1.5 必填for chart build及InSQL建置
Shutdown Spec USL 停線上下限 1.84
LSL 1.76
Control Limit UCL 管制上下限 1.825
LCL 1.775
Baseline UBL Baseline上下限 1.81
LBL 1.79
Resolution 儀表解析度 0.001
EngUnit 量測單位 %
Digits 小數位數 3
流水標號 流水號 Pump1 使用時機:既有類別說明不足
(附加說明) 無須填寫留空白
Tag Desciption for (Sys.+Sub-sys.+point_type+Item+Area) UPW_LOOP1_Supply_ 自動組合欄位
InSQL(Key) Temperature__Pump1
ATC Build chart and Matching chart by Group Y Matching chart
F-charter Build chart and Matching chart by Group Y Matching chart
F-charter 自動計算UCL、LCL Y 自動計算Target、UCL、LCL、Sigma
Function 應收Sample Data數 144 每日應收RawData數 ;
144:每10分鐘1筆
1440:每1分鐘1筆
進行SPC運算 Y 設定TAG要不要進行 SPC 運算
PR1 Y Y:要執行PR1運算，N: 不執行
PR2 Y Y:要執行PR2運算，N: 不執行
PR3 Y Y:要執行PR3運算，N: 不執行
PR4 Y Y:要執行PR4運算，N: 不執行
PR5 Y Y:要執行PR5運算，N: 不執行
RSR Y Y:要執行RSR運算，N: 不執行
OOC% Y Y:要執行OOC%運算，N: 不執行
Cpk Y Y:要執行Cpk運算，N: 不執行
Median Shift Y Y:要執行Median Shift運算，N: 不執行
K-shift Y Y:要執行K-Shift運算，N: 不執行
OOB Y Y:要執行OOB運算，N: 不執行
UCL、LCL為幾倍Sigma 3 設定UCL,LCL為Sigma的幾倍數
N+1 Link DIP抓取status Y DIP link
Tank L3 Link DIP抓取status Y DIP link

14