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Tech
各Group每年分析運轉上的痛點與需求，於Group平台
討論後，提出自動化改善的建議方案，經過各平台專家的評
估，最終結果往上提報到廠務自動化發展平台做專案開發與
導入的管理。2018~2020年，廠務自動化發展平台陸續完成
了多項的自動化專案開發，結果如 圖10所示。各自動化專案
內，不乏資訊整合、IoT、AI與機器人等智慧化、數位轉型技
術之發展，自動化發展平台的成立對於廠務數位轉型來說，
踏出了廠務智慧化、數位轉型的第一步。
圖10、2018~2020廠務自動化技術發展成果
3.2 廠務智慧化技術發展
下文中將針對廠務近幾年數位轉型的智慧化技術發展，
列舉實例說明。
3.2.1 機器人技術開發
廠務的機器人發展應用版圖中，依運轉的需求分為兩大
方向，分別為搬運與巡檢，如 圖11。自動搬運機器人主要目
的為解決廠務高勞力、高風險化學物料搬運問題；自動巡檢
機器人主要目的為解決高耗時巡檢以及巡檢品質不一問題。
機器人的主體規劃以自動導引車或稱無人搬運車(Automated
Guided Vehicle, AGV)做功能整合開發，透過磁條導引或
同步定位與地圖構建技術(Simultaneous Localization And
Mapping, SLAM)，實現行進路徑指引與各站點的移動定位，
達到自主移動搬運或自主巡檢的目的。
圖11、2019廠務機器人的開發規劃
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Notes
技術專文
① 搬酸機器人
廠務搬運化學品的工作屬於高風險、高勞力的吃重工
作，改善TCM高危險的工作環境，減少TCM接觸化學品風險
及改善高勞力搬運環境，值得廠務投資機器人自動搬運來達
成這個目標，除了可以提升廠務運轉效率外，也同時對台積
電社會企業責任作出貢獻。因為1F庫房區需要從自動流道叉
取化學棧板，並搬運至庫房雙層料架上，所以規劃具有可以
將物品抬升到雙層料架放置之堆高機式AGV來進行入庫、領
料等工作 ; 1F~2F之間的運送，因化學品搬運電梯有空間尺寸
與重量的先天限制，所以設計具有重量較輕、尺寸較小潛盾
式AGV來進行自動搬運。前後段AGV銜接完成整個化學品物
料入庫、領料、搬運、退空桶等一條龍作業流程的自動化，
如 圖12。
圖12、F14P12一條龍自動搬酸流程圖
② 巡檢機器人
巡檢為廠務要達到穩定運轉所需的日常重要工作之一，
花費工程師諸多時間透過巡檢來管理現場的系統、6S、PM、
工安等事項。因為廠務系統遍佈區域廣闊，經過評估導入自
動巡檢之後可節省這些高耗時工作，讓工程師可以多出時間
在解決問題上，是個很好的投資。
自動巡檢依區域可分為無塵室巡檢與廠務區巡檢，無塵
室內的巡檢主要以AMC量測為主，最初設計以無塵室既有的
Parts AGV，將其物料推車改為整合量測儀器方式執行，巡檢
量測數值即時回傳廠務監控平台，有異常可以立即通報。廠
務區巡檢又分為地面巡檢及高空巡檢，廠務區地面巡檢的開
發以AGV整合視覺、聽覺、嗅覺、體感等感知元件，結合AI
影像辨識功能，達到智能巡檢目標，如 圖13。高空管路與桶
槽巡檢最初評估軌道式機器人方式來克服機器人爬上高空地
形的困難，但因其成本考量與建置難度高、國內廠商提不出
實績等問題，轉而尋求其他解決方案。